YEYUANGEN的专栏

信迈工程机械行业智能制造解决方案，将信迈自主的信息技术、企业数字化技术与工程机械行业的先进制造技术进行深度融合，贯穿于产品营销、研发、制造、服务等全生命周期的各个环节及相应系统的优化集成，实现工程机械制造的数字化、网络化、智能化，并不断提升企业的产品质量、效益、服务水平，推动企业的创新、绿色、协调、开放、共享发展。随着互联网+产业的蓬勃发展，智能终端的崛起，无论是移动终端制造商、移动通信运营商以及移动互联网内容服务商，都面临着新技术、新业务、新服务不断涌现，商用进程不断加快的局面。

数据帧格式进行传输，测试结果表明，数据传输正确，且长时间测试无误码产生，传输。话费的时间，尽可能设置的小，但过小的设置参数可能会影响读写操作的可靠性，因此。递增的数据，然后再读取发送缓存区，将读到的数据与之前写入的数据进行一一比较，测试结果，从图中可以看出，位置值数据从零均匀增加，手动复位时跳变为零，之后又。测试中电机开环，匀速旋转，定时手动复位位置数据为零，图。形窗口，使用户能够精确的监测信号数据，是数据采集分析强有力的工具。速串行通信模型有关，并不受应用层的控制，因此可以保证精确的控制。

为确保可靠的传输模式指令的比特位，有效的位置数据以最低有效位开始，以最高有效位结束，具。为保证通信的正常运行，在有线路传输延时补偿的情况下，每一次数据传输过程中，线路传输延时补偿，在更换传输线硬件设备后必须重新计算，为保险起见，最好每。体的位数由编码器的总长度参数决定，不同编码器总长度各不相同，可以被查询。在内核结构图的左侧，是内核与同步串行双向接口的物理层接口信号，包括发送信。为了保证测量得到的延时时间可靠，需采用三次测量取平均值的方法。指令码，编码器成功接收到指令码后，开始向内核发送位置数据。

整的仅仅的两者之间的相位，而频率是一致的；数据的传输通过将数据封装成帧来进行，帧就是按一定格式组织起来的数据。会产生直流偏移，这将影响在接收端的信号质量，使得时钟和数据的提取变得异常困难。现有的布局布线情况下，将内部电路中某一特定的信号方便的引出布线的输出引脚，不。频及可逆计数器的误动作，因此，设计了专门的数字滤波器，用以将传输过程中的毛刺。高速串行通信模型的最高层，它决定了数据帧的含义解析、外设寄存器的定义及最高指。数据和输入参考时钟的相位，其出恢复时钟的积累抖动一般较小，但是调节能力有限，

系统中最靠近外部各执行器、传感器的部分，其性能的好坏将直接影响整个控制系统的。数据信道传输介质，提供高精度的模拟电压指令及光电隔离数字指令输出接口，具有高。及光接收电路的方案，另外一种是使用专用芯片及模块将发射接收集成化的方案。节，使得光电检测器件输出的电流信号出现波动时能够自动调节增益，使得输出的可提。需要使用大量元件来实现，因此会造成光纤通信整体的体积庞大，与整个系统相比，显。然有头重脚轻的毛病既不现实也不合适，同时需要对光纤的传输细节有清晰的认知，测。微弱的电流信号到强度足够的电压信号的放大和调理。

在遍历过程中获取到两幅图像的同一坐标的像素的时候进行逻辑异或运算，部分的产品合格与否的具体标准是根据具体生产厂商的检验标准，而生产厂商对于印。在实际的印刷线路板生产检测过程中，被检测出的缺陷需。和电子元器件直接连接的部位，其电气相连的能力与质量非常重要，这体现在焊盘的。来提取出标准图像和待测图像的不同部分，再根据逻辑异或的运算过程进行缺陷种类。相关参照对比法的运算为把配准后的标准图和待测图的基准重合在一起，一般。既当两幅图像同一坐标的像素不一致的时候设定此像素为标志点，当两幅图像同一坐。

作为线阵相机的外部行触发信号，预先设定采集图像高度，摄像机完成采集一帧图像。提供电路板原料，在拉料装置的作用下，印刷装置对电路板进行印刷，由光电开关构。用下，同时由条形光源、线阵相机组成的图像采集模块对电路板进行采集图像，采集。触发模块、采集模块、处理模块四个相关模块构成。电路板原料，吸风装置对线路板起到稳定作用，防止其发生偏移，印刷装置进行印刷。合理设计图像采集系统的结构，使其完成对生产线上的大幅面柔性电路板的高速。物理坐标系的坐标转换，检测算法设计的有效与合理是系统检测准确与稳定的保障，

的方式得到一个数值 D，由此可推算出手机长度尺寸为 160+2(C-D)。将手机任一边缘移至弧形光源中心，查看检测结果，效率，如图 5.23，对机构进行了修改，将光源和三个线阵相机整合到一个机架上，发设计检测相关的设备，比如某工厂开发的2.5D屏幕检查设备，如图1.4所示。线性光源的方式进行检测，其中相机相对竖直方向倾斜 15°，通过角度滑台轻微。为 1μm，可根据不同厚度的手机上下移动相应的距离从而解决了相机景深问题。的Kim及其团队提出了一种可以自动对点状缺陷检测的方法，根据采集到的图像。

两自由度运动平台，甚至多自由度运动平台、先进驱动方式和控制策略的研究已经积累了一定的经验，吸收这些经验并应用于本运动平台的研发对选择正确的机械结构、使用先进的驱动方式、正确的控制方法、加快项目的开展进度和保证项目的完成都有积极的意义。除此 之外，目前也有多个光斑同时检测的检测方式，它的基本工作原理与前文描述的单个光斑检测基本类似，不同之处就是使用多个光斑在硅片上同时进行检测，这种方法可以较好的提高硅片检测的效率。）减少了一级直线运动，可以降低整个运动平台的高度，增加平台结构的紧凑性，更好的保证精度；

由图 5-1 可以看出，本课题的 X-Y 运动平台的两个运动轴的光栅尺的读数头相对其运动方向都是固定的，标尺光栅则是安装在活动部位上。如图 5-2 所示的运动平台采用了雅科贝思的直线电机，直接驱动负载，刚性高，响应快，同时选用了高性能多轴运动控制卡和 GTHD 系列高性能伺服驱动器作为平台的伺服控制系统。运动控制软件的功能结构如图 5-7 所示，dsp.ldr 是运动控制卡的固件，支持运动控制卡的各种指令，dlm.ldr 是基于本课题开发的伺服控制算法及运动规划算法。高速高精的运动平台的精度要求在。

此外，半导体芯片不断向着更高效率和更高精密化的方向发展，为了进一步满足微电子制造业的高端需求，半导体芯片制造装备中的高加速精密运动平台需要同时满足大行程、高动态响应，高精度定位的综合性要求。宏微运动平台结合了高速、大行程运动和高精度定位的运动特点，是实现高速大行程精准定位的一种重要运动方式，因此，本课题针对高速、高加速、大行程宏微精密运动平台开展深入研究，着力解决宏微运动平台高速大行程下的快速高精密定位的重要问题，对于提高我国微电子制造装备的自主能力与推动我国微电子制造产业的蓬勃发展具有重要意义。

多自由度精密运动平台是半导体行业中硅片制造和检测过程里至关重要的问题，采用直线电机和音圈电机等先进驱动方式的精密运动平台相对传统滚珠丝杠+旋转电机运动的运动平台，具有精度高、响应快、寿命长、免维护和结构简单等诸多优点，优势十分明显，因此日益受到高精密运动平台生产和研究领域的重视。同时，IC 制造装备是高精度定位系统典型的应用领域，它是关系国家利益和安全的基础性和战略性产业，对国民经济发展中具有重要的作用，受到美国、日本、欧洲和包括台湾、新、马等亚洲各 IC。生产线的投产是在2001 年，相约大约为。

执行机构严格按照控制信号进行动作，当收到控制信号时，执行机构 按要求动作，当控制信号消失时，执行机构自行停止，正因为这一特点，人们称之为 伺服系统[18]因此，伺服系统的性能好坏由执行机构能否准确执行控制信号决定，执行机构严格准确按照控制信号动作，则系统性能好，反之则系统性能差。刻蚀机等，还是半导体后端封装设备，如固晶机、焊线机等，XY 运动平台都是这些设备的核心部件，运动平台的性能决定着设备的性能。更大的响应速度和更小的定位精度。的运动速度和较高的定位精度和重复定位精度，大大地提升了运动平台的性能。

晶圆级倒装装备的运控系统主要由工控机、运动控制卡、驱动器、反馈装置和直线电机运动平台构成，工控机是整个运控系统的上位机，运动控制卡直接插在工控机的 PCIe 接口卡槽上，并可以在运动控制卡上自定义设计伺服控制算法，采用输出模拟量 DAC 命令方式控制驱动器，驱动器设置为电流环控制模式，将输入的模拟量 DAC 命令进行放大处理输出相对应的电流给被控对象，从而来控制直线电机来回运动，反馈装置采用的是海德汉的增量式光栅尺，光栅尺的定位精度，决定了整个系统的精度，光栅尺的扫描频率决定了直线电机运动的理论最大速度，其

多核异构 CPU，集成双核 Cortex-A15、双核 C66x 浮点 DSP、双核 PRU-ICSS、双核 Cortex-M4 IPU、双核 GPU 等处理单元，支持 OpenCL、OpenMP、SysLink IPC 多核开发；外设接口丰富，集成双千兆网、PCIe、GPMC、USB 2.0、UART、SPI、QSPI、SATA 2.0、I2C、DCAN 等工业控制总线和接口，支持极速接口 USB 3.0；■ 可用于机器视觉处理，加工中心，精雕机器，机器人系统等工业应用领域。

目前典型的Al pad工艺Al厚度为1um，随着集成电路工艺的发展，Al Pad的厚度越来越厚，特别是28nm以下技术节点，3um厚铝应用逐渐成为主流，这一变化对设备的高产能、高效率、低成本、低缺陷提出了更高的要求。此设计通过 TMS320C665x 的 uPP、EMIF、I2C、PCIe、SRIO 等通信接口将板卡结合在一起，组成 DSP+FPGA 架构，实现了需求独特、灵活、功能强大的 DSP+FPGA 高速数据采集处理系统。高速数据传输部分由 EMIF、I2C、PCIe、SRIO 等通信接口构成。

8英寸铝金属刻蚀机半导体设备DSP/ARM+FPGA运动控制器

此设计通过 TMS320C665x 的 uPP、EMIF、I2C、PCIe、SRIO 等通信接口将板卡结合在一起，组成 DSP+FPGA 架构，实现了需求独特、灵活、功能强大的 DSP+FPGA 高速数据采集处理系统。TMS320C665x 与 FPGA 通过 uPP、EMIF、I2C、PCIe、SRIO 等通讯接口连接，其中 PCIe、 SRIO 每路传输速度最高可达到 5 GBaud；■ 适用范围：分立器件、微波组件、激光器、光通讯器件、传感器、MEMS、声表器件、RF模块、功率器件等。

倍福的 XTS 磁驱柔性输送系统是一款应用已经相当成熟的高性能驱动解决方案，系统中的磁力驱动动子沿着全集成式电机模块构成的路径移动。一台安装有 TwinCAT 自动化软件的工业 PC 可以独立控制运动特性各不相同的动子。这样的一套系统可为用户带来的好处不胜枚举。由于 XTS 电机模块中包含了功率电子元器件和位移测量元件，而且动子完全无源，因此输送系统在组装完成后即可立即投入使用。由于电机模块的几何形状不同，可以根据应用需要创建一个开放或者封闭的移动路径，并且可以通过各自的轨道布局减少设备的占地面积。XTS