53、检流计式和共振式扫描仪技术解析

检流计式和共振式扫描仪技术解析

1. 扫描误差补偿与光束路径畸变

1.1 扫描误差补偿

为了最小化某些影响，光束应如图 8.8 所示，在旋转轴下方偏移量为 K 进行居中。误差 E 函数为：
[E = \frac{(T - K\sin\alpha)}{\cos\alpha}]
其中，(\alpha) 是镜子与工作平面法线的夹角。图 8.9a 和 b 展示了具有单位表面偏移的镜子典型单轴、平场扫描误差图。扫描角度即光束旋转角度，光束扫描角度分别是在参考角度 37° 和 45° 基础上增加的旋转角度。

1.2 光束路径畸变（BPD）

光束路径畸变（BPD）可能源于扫描头或成像系统，由光束不同部分的路径长度变化引起。其表现如下：
- 聚焦激光系统 ：BPD 常表现为伸长或变形的光斑，这些缺陷在最佳焦点附近的近焦点和远焦点的不同轴上出现，或表现为从聚焦光斑投射出的“能量瓣”。
- 视觉系统 ：图像并非总是受衍射限制，特别是在大孔径情况下，高达 1 个波的畸变可能是可接受的。
- 成像系统中的镜子 ：镜子不平坦是 BPD 的常见原因，可能导致图像出现像散，垂直和水平轴不在同一平面聚焦，某些光束束的不正确成像位置通常会降低图像对比度。
- 透镜系统 ：透镜系统的缺陷，如偏心、应力和其他制造相关问题，也可能导致图像变形。若图像质量未达预期，可在无扫描仪的情况下测试透镜系统。F - 8 透镜通常表现出超过 0.5% 的非线性，场平坦透镜也有需要指定的性能公差。