29、氧沉淀模拟的研究与应用

氧沉淀模拟的研究与应用

1. 模型概述与适用性

在氧沉淀模拟中，界面能中的值 $\delta = 0.22$ 在所有计算中保持不变。另一个重要参数是晶体生长过程中温度随时间指数下降的时间，这是晶圆热历史的重要组成部分。由于实验研究中大多未提供晶圆热历史数据，该值需通过计算值与实验值匹配来确定。

从物理和实际角度看，使用化学动力学方程（CKE）和福克 - 普朗克方程（FPE）的模型（II.S.b.ii）相比仅基于 FPE 的模型（II.S.b.i）有所改进。它能更准确描述最小沉淀尺寸，且在未来对小尺寸沉淀建模时更具灵活性。通过使用速率方程，还能纳入量子力学团簇计算得到的最小氧沉淀能量离散值。此外，通过比较热施主（TD）动力学和较大氧沉淀形成的计算与实验结果，可验证 TD 是氧沉淀核的假设。

使用粒子表示的 Fokker - Planck 方程（11.5.b.ii）比半径表示（11.5.b.i）更有利，因其不依赖沉淀形状，还能关联生长和溶解速率，揭示沉淀过程的原子性质。不过，所有建模方法的一个重要局限是忽略了沉淀应力以及氧沉淀与其他缺陷的相互作用，后续会进一步探讨将这些现象纳入模型。

2. 模型与实验结果对比

2.1 可计算与验证的量

量	符号	实验方法
尺寸分布函数	$f(n, t)$	TEM
间隙