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24、光子与电子集成技术:调制器、探测器与激光器的进展
本文综述了光子与电子集成技术在光调制器、锗波导光电探测器和硅基激光器方面的最新进展。重点介绍了器件的工艺兼容性、性能参数及集成方案,包括在200mm晶圆上通过芯片键合实现III-V族激光器集成的技术挑战与解决方案。同时对比了不同类型探测器与激光器的性能,并探讨了该技术在高速光通信、微处理器互连和传感器网络中的应用前景。未来发展方向聚焦于更高集成度、更低功耗和更高带宽,推动光电子系统向高性能、低成本和大规模集成迈进。原创 2025-11-03 08:39:51 · 44 阅读 · 0 评论 -
23、光子与电子集成技术解析
本文深入解析了光子与电子集成技术的关键工艺与器件,涵盖工艺整合、背面制造技术、无源光子电路设计(包括导波结构、光耦合器和光调制器)等内容。文章对比了不同波导和耦合器的优缺点,探讨了集成方案的技术挑战与适用场景,并通过流程图直观展示了制造流程。最后提出了未来发展方向与实际操作建议,为光子与电子集成技术的研究与应用提供了全面参考。原创 2025-11-02 14:46:29 · 41 阅读 · 0 评论 -
22、光电子集成技术:CMOS光子学与光子 - 电子融合之路
本文深入探讨了CMOS光子学平台的构建及其关键工艺模块,分析了光子与电子在电子晶圆上的多种集成方式,包括3D/AIC集成、异质集成与组合制造的技术细节与应用前景。通过晶圆级测试与技术验证案例,展示了光电子集成系统的可行性,并展望了该技术在更高集成度、更低功耗、更高速度及更广应用领域的未来发展趋势。原创 2025-11-01 16:08:41 · 33 阅读 · 0 评论 -
21、CMOS光子学:光电集成平台的探索与实践
本文探讨了CMOS光子学在光电集成平台中的探索与实践,重点介绍了偏振模式分离的新方法、基于实验设计(DOE)的器件优化流程、工艺可变性对设计的影响以及设计验证与建模。文章还详细描述了晶圆级光电测试基础设施和光电PDK等设计自动化工具的关键作用,并通过一个集成了WDM收发器的系统示例验证了技术平台的可行性。尽管在器件性能和系统集成方面取得了进展,但缺乏集成光源仍是商业化的主要障碍。未来发展方向包括解决光源集成、提升工艺稳定性、提高系统集成度和拓展应用领域,最终实现CMOS光子学的广泛商业应用。原创 2025-10-31 13:01:10 · 29 阅读 · 0 评论 -
20、探秘CMOS光子学:从器件集成到库设计的全面解析
本文深入探讨了CMOS光子学从器件制造到库设计的关键技术与挑战。内容涵盖调制器与接触模块的集成工艺、锗模块在光子学中的应用及其集成限制,重点分析了基于波导的光电探测器架构和偏振分裂光栅耦合器(PSGC)的高效耦合机制。文章还介绍了工艺控制与监测的重要性,展示了Luxtera开发的在线计量与测试结构如何保障制造质量。此外,详细阐述了光子器件库的层次化设计理念及其与电子库的无缝集成,支持复杂光子集成电路(PIC)的构建。最后展望了CMOS光子学在性能提升与多领域应用中的广阔前景,并强调通过技术创新应对工艺复杂性原创 2025-10-30 15:14:10 · 30 阅读 · 0 评论 -
19、硅平台上的高速光子集成芯片与CMOS光子学技术解析
本文深入解析了硅平台上的高速光子集成芯片与CMOS光子学技术,重点介绍了Luxtera采用的CMOS工艺前端集成方法。从SOI衬底设计、波导集成、光刻技术到有源光学器件的实现,系统阐述了如何在标准CMOS工艺基础上构建高性能光电子器件。文章还展示了器件开发流程、设计与测试基础设施,并以40 Gbps波分复用收发器为例验证了技术可行性,凸显了CMOS光子学在高速光互连领域的应用前景与集成优势。原创 2025-10-29 15:18:56 · 43 阅读 · 0 评论 -
18、基于硅平台的高速光子集成芯片:设计、制造与性能解析
本文深入探讨了基于硅平台的高速光子集成芯片的设计、制造工艺及性能表现。该芯片集成了1:8 DEMUX、八通道高速马赫-曾德尔调制器(MZM)阵列和8:1 MUX,采用SOI晶圆工艺,通过行波电极设计和单片集成终端电阻实现超过30GHz的3dB滚降频率,并在25Gb/s速率下实现清晰眼图,总数据速率达200Gb/s。芯片具备高集成度、低损耗、良好通道均匀性和可调相位补偿等优势,在数据中心、5G通信和高速互连领域具有广阔应用前景。未来发展方向包括更高集成度、更低功耗与更高数据速率,但仍面临工艺精度、散热与成本控原创 2025-10-28 16:07:25 · 27 阅读 · 0 评论 -
17、硅光子学:从片上系统到高速集成芯片
本文介绍了硅光子学在片上系统通信和高速集成芯片中的应用。通过WADIMOS项目展示了片上光网络(ONoC)架构,利用光信号实现高效片上通信,并详细解析了发起者光网络接口(IONI)、λ路由器和目标光网络接口(TONI)的协同工作机制。同时,介绍了一种基于绝缘体上硅平台的高速硅光子集成芯片,采用八通道波分复用技术,集成了高速硅马赫-曾德尔调制器与复用/解复用器,实现了200 Gb/s的聚合数据传输速率。文章还探讨了芯片的制造、测试流程以及未来发展趋势,指出激光源集成和制造工艺一致性是主要挑战,展望了硅光子技术原创 2025-10-27 16:59:40 · 31 阅读 · 0 评论 -
16、硅光子学:片上系统视角下的互连技术
本文从片上系统(SoC)的视角探讨了硅光子学在互连技术中的应用。分析了传统电气互连面临的物理与性能瓶颈,包括延迟、功耗、串扰和带宽限制,并介绍了前向纠错(FEC)与重传(ARQ)等错误处理机制。文章进一步阐述了光互连作为突破性解决方案的潜力,具备高带宽、抗噪声、无串扰等优势,并讨论了材料选择、CMOS兼容性、集成策略及关键设计因素。最后以欧盟PICMOS项目为例,展示了晶圆对晶圆键合与IC上方集成两种光互连实现路径的技术进展与前景。原创 2025-10-26 14:50:46 · 20 阅读 · 0 评论 -
15、硅光子学:从锗材料到片上系统的应用前景
本文探讨了硅光子学在片上系统(SoC)中的应用前景,重点分析了锗材料在高效太阳能电池中的关键作用,以及其在GaAs与硅集成中的优势。文章回顾了SoC设计中传统片上总线的局限性,并阐述了片上网络(NoC)在带宽、可扩展性、服务质量等方面的显著优势。同时,介绍了片上光学互连作为未来高性能SoC的潜在解决方案,具备高带宽、低功耗和CMOS兼容性等特点。通过技术对比与趋势预测,展示了从材料到架构的系统级创新,为未来电子系统的发展提供了方向和启示。原创 2025-10-25 09:34:00 · 51 阅读 · 0 评论 -
14、锗:开启硅光子学与高效太阳能电池新时代
本文探讨了锗在硅光子学与高效太阳能电池中的关键作用。通过超薄(Ge)缓冲层技术,实现了Ge与Si的异质集成,解决了GaAs与Si晶格失配问题,为构建CMOS兼容的光电融合平台提供了可能。文章详细分析了材料特性、位错控制机制及四结AlGaAs/Si/Ge串联太阳能电池的设计与优化过程,并验证了Ge/Si太阳能电池的性能。此外,还介绍了锗在光通信和高速晶体管领域的应用潜力,并展望了未来在材料优化与器件集成方面的发展方向,展示了锗在绿色能源与先进电子技术中的广阔前景。原创 2025-10-24 12:10:34 · 71 阅读 · 0 评论 -
13、掺铒富硅氮化硅与硅酸铒用于片上光源的研究
本文研究了掺铒富硅氮化硅(SRSN:Er)与硅酸铒在片上光源中的应用,分析了不同铒浓度下的增益特性及材料制备流程。通过反应离子束溅射、退火与氢化处理成功制备出具有高效Er³⁺发光的微盘结构,并系统评估了其表面与边缘粗糙度、模式限制特性及Q因子表现。实验表明,尽管理论Q因子可达10⁶以上,但实际测量值受限于光纤接触导致的耦合损耗和对称性破坏,尤其影响TE和TM模式。同时探讨了nc-Si敏化带来的吸收低、激发效率低和量子效率低等问题。文章指出,采用波导耦合替代直接光纤接触、优化泵浦光束整形与吸收效率是提升器件性原创 2025-10-23 14:59:57 · 23 阅读 · 0 评论 -
12、用于片上光源的掺铒富硅氮化硅和铒硅酸盐:铒硅酸盐的研究
本文研究了用于片上光源的铒硅酸盐材料的制备、结构与光学特性。通过气相-液相-固相法生长硅纳米线,并结合旋涂与快速热退火工艺成功制备出高质量的ErₓY₂₋ₓSiO₅纳米晶体。材料表现出优异的光致发光性能,室温下半高宽小于4.5 nm,且具有低合作上转换系数,适用于高浓度掺杂下的光放大应用。研究表明,该材料在片上光源、光放大器及量子信息处理等领域具有广阔前景,但仍需在制备工艺优化、上转换抑制和材料集成方面进一步突破。原创 2025-10-22 13:18:55 · 26 阅读 · 0 评论 -
11、用于片上光源的掺铒富硅氮化硅和硅酸铒材料研究
本文研究了掺铒富硅氮化硅(SRSN:Er)和硅酸铒作为新型片上光源材料的潜力,以解决传统二氧化硅基材料中铒溶解度低、增益有限和器件尺寸过大的问题。实验表明,SRSN:Er在高温退火下具有优异的热稳定性,能有效抑制铒的光学失活,同时在nc-Si敏化和直接激发下发光强度均优于传统材料。其高折射率和CMOS兼容性有利于紧凑型光电器件的集成。硅酸铒则通过形成高浓度晶体相显著提升铒离子密度,实现高增益与小型化。两类材料在电泵浦器件、光放大器和光电集成方面展现出广阔前景,为下一代硅基光源的发展提供了新路径。原创 2025-10-21 09:02:47 · 32 阅读 · 0 评论 -
10、集成光学:衍射光栅与铒掺杂材料的应用探索
本文探讨了集成光学中衍射光栅与铒掺杂材料的关键应用。衍射光栅在光纤与纳米光子集成电路的高效、紧凑耦合中发挥重要作用,支持偏振无关、宽带宽操作,并可用于晶圆级测试的光学探针。同时,铒掺杂材料如铒掺杂硅富硅氮化物(SRSN)和铒硅酸盐为解决硅基片上光源难题提供了新路径,利用铒离子在1.54μm的稳定发光特性实现与电信波段兼容的光生成。文章还综述了材料优化、器件制备流程及未来在高集成度、性能提升和生物医学等新领域的应用前景。原创 2025-10-20 15:22:59 · 42 阅读 · 0 评论 -
9、衍射光栅实现集成电路与光纤的高效耦合
本文综述了基于衍射光栅的多种光纤-芯片高效耦合技术,涵盖高效耦合至晶体硅波导层、多波段操作、偏振无关设计及与III-V光电子组件的混合集成。通过硅覆盖层优化、光栅结构创新和斜向耦合器设计,实现了接近-1 dB的耦合效率,并解决了带宽、串扰和偏振敏感性等问题。文章还对比了不同方法的性能与适用场景,分析了制造精度、成本和寄生效应等挑战,并展望了未来在工艺优化、智能设计和系统集成方面的研究方向,为高性能光子集成系统的发展提供了重要参考。原创 2025-10-19 09:06:56 · 31 阅读 · 0 评论 -
8、硅纳米光子集成电路与单模光纤的衍射光栅耦合技术
本文综述了硅纳米光子集成电路与单模光纤之间的衍射光栅耦合技术,重点分析了高折射率对比度波导与光纤间模式尺寸不匹配的挑战及解决方案。详细阐述了一维衍射光栅的工作原理、耦合机制及其在偏振敏感性、方向性和带宽方面的限制。介绍了通过底部反射镜(金属或DBR)提升耦合效率的方法,并探讨了实现宽带和偏振无关耦合的技术路径,包括渐变周期光栅与二维光栅结构的应用。结合工艺兼容性、封装要求与成本因素,比较了不同耦合器的性能,展望了未来向更高效率、更宽带宽、小型化和偏振无关集成发展的趋势,凸显其在大规模光子集成电路晶圆级测试与原创 2025-10-18 12:36:14 · 33 阅读 · 0 评论 -
7、硅光子波导组件中的偏振控制技术解析
本文深入解析了硅光子波导组件中的偏振控制技术,涵盖零阶阵列波导光栅(AWG)偏振分束器的工作原理与性能优势,探讨了双折射的多种微调方法如热处理、电子束/紫外线照射及蚀刻/激光微调,并分析了拉曼和非线性过程中的相位匹配优化策略。同时介绍了应力诱导普克尔斯电光效应的机制及其在高速调制器、光子集成电路和传感器中的应用前景。结合工艺优化与器件设计创新,这些技术为实现高性能、高集成度的硅基光子器件提供了关键技术支撑,未来将在光通信、光计算和光学传感等领域发挥重要作用。原创 2025-10-17 13:35:36 · 49 阅读 · 0 评论 -
6、硅光子波导组件中的偏振控制:包层应力工程的应用与原理
本文系统阐述了包层应力工程在硅光子波导组件中的偏振控制应用与原理。通过分析应力诱导的模式失配、群折射率双折射及其与芯尺寸的关系,揭示了应力对波导双折射的调控机制。重点介绍了该技术在AWG解复用器、环形谐振器、MZI、三工器等无源器件中的偏振无关化设计,并拓展至偏振分束器、拉曼放大相位匹配及引入普克尔效应等有源器件应用。结合流程图与对比表格,展示了包层应力作为宽带调谐参数在实现低偏振相关损耗和高精度双折射控制中的关键作用,为硅光子器件的性能优化提供了有效路径。原创 2025-10-16 15:57:48 · 29 阅读 · 0 评论 -
5、硅光子波导组件中的偏振控制
本文深入探讨了硅光子波导组件中的偏振控制问题,重点分析了矩形与梯形波导的模式特性差异、几何双折射对芯尺寸和制造公差的敏感性,以及色散对群折射率双折射的影响。文章系统阐述了由包层应力引发的光弹性效应及其对波导双折射的调控机制,并比较了普通与归一化平面应变模型在应力计算中的精度差异。通过建模揭示了上包层厚度、蚀刻深度、侧壁角度和应力水平等参数对双折射的调控规律,提出了结合几何设计与应力工程的双折射控制策略,为实现偏振无关的高性能硅光器件提供了理论依据与技术路径。原创 2025-10-15 15:47:10 · 41 阅读 · 0 评论 -
4、硅光子波导中的偏振控制与双折射特性
本文综述了硅光子波导中的偏振控制与双折射特性,重点分析了几何双折射和包层应力诱导双折射的成因及其对器件性能的影响。讨论了实现单模和偏振无关设计的关键条件,指出了单纯依赖几何设计的局限性,并强调包层应力工程在调控双折射、实现偏振无关器件、偏振分离及增强非线性光学效率等方面的广泛应用前景。最后总结了综合优化波导结构与应力管理对提升硅光子器件性能的重要性。原创 2025-10-14 10:54:13 · 36 阅读 · 0 评论 -
3、硅光子线波导:原理与应用
硅光子线波导凭借其强大的光约束能力和与硅电子学的兼容性,成为电子-光子融合的关键技术。本文综述了其在可变光衰减器、非线性功能和偏振操控方面的原理与应用。通过载流子注入实现低功耗、快速响应的光衰减;利用高非线性系数实现波长转换、全光调制和纠缠光子对生成;并通过偏振分束器与旋转器结合的偏振分集方案有效消除偏振依赖性。这些特性使硅光子线波导在大规模光子集成中具有广阔前景。原创 2025-10-13 16:29:33 · 41 阅读 · 0 评论 -
2、硅光子线波导:基础与应用
本文系统介绍了硅光子线波导的基础特性、制造工艺、基本传播性能及其在无源和动态器件中的应用。重点分析了有效折射率、单模条件、几何误差影响、传播与弯曲损耗、光纤耦合技术等关键特性,并探讨了在分支器、波长滤波器、光开关和可变光衰减器中的实现方式。文章还总结了当前面临的技术挑战,如偏振依赖性、制造精度和损耗控制,提出了优化方向与未来发展趋势,涵盖光通信、光子集成和传感器等应用前景,展示了硅光子线波导在现代光子学中的核心地位与发展潜力。原创 2025-10-12 10:56:00 · 44 阅读 · 0 评论 -
1、硅光子线波导:原理与应用探索
本文深入探讨了硅光子线波导的原理、设计与应用,分析了其在电子-光子融合中的关键作用。文章涵盖了硅光子学的优势与挑战,包括传播损耗、偏振依赖性、弯曲损耗及光纤耦合问题,并介绍了通过包层应力工程实现偏振控制、高效光纤-芯片接口技术、片上光源开发以及锗在硅光子学中的应用。同时,讨论了CMOS光子学平台、光子集成电路设计与系统集成,展示了硅光子学在高速通信、片上互连和未来光电子系统中的广阔前景。原创 2025-10-11 14:05:20 · 35 阅读 · 0 评论
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