80、压电扫描技术解析：从原理到应用

压电扫描技术解析：从原理到应用

1. 双轴镜倾斜扫描台

当需要一个带有中心枢轴点且能正负倾斜的尖端倾斜台时，四堆叠推拉方法是必要的。这种设计中，堆叠直接作用于顶板，以保持设计的高刚度和高共振频率。

1.1 设计特点

• 更大倾斜角度 ：这种推拉方法能够实现更大的倾斜角度，此类平台能够达到高达 10 mrad（±5 mrad）的倾斜角度，且共振频率处于 kHz 范围。
• 结构图示 ：相关平台的图示如下，展示了其顶部和底部的设计。

2. 线性平台设计

如今，对能够执行各种专业任务的纳米定位器有很大需求。基于挠曲技术的多种创新设计应运而生，利用有限元分析（FEA）优化的强大计算机算法，开发出了适用于高负载下高共振频率、在相对较大运动（对于压电平台而言，较大运动指的是毫米级）中最小化倾斜和串扰误差的系统。

2.1 串扰问题

单维挠曲堆叠平移台采用平行导向设计，使用挠曲的整体实心金属铰链来引导和放大其内部堆叠的运动。通常，金属结构在安装压电元件之前需要稍微弯曲，以提供集成预紧力，并用环氧树脂将堆叠永久固定在内部。

2.1.1 串扰类型

• 横向分量 ：在平行四边形设计中，典型的不对称压电挠曲