《炬丰科技-半导体工艺》--技术资料合集28

这些博客涵盖了半导体行业的多个核心领域,包括光刻胶清洁工艺、Marangoni干燥模型、薄膜晶体管技术、GaAs材料改性、湿热氧化、光电化学钝化、湿法蚀刻、晶圆键合、光刻胶去除、超宽带隙半导体、臭氧清洗、微纳米光刻技术、金属颗粒行为、CMP清洗工艺、超临界二氧化碳清洗等,揭示了半导体制造过程中的关键技术和挑战。

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一:光刻胶清洁工艺

二:Marangoni干燥模型

三:薄膜晶体管中的光刻技术

四:GaAs 薄晶圆的强度改进

五:GaAs 和GaN 的湿热氧化

六:GaAs表面的光电化学钝化

七:GaN 的简单湿法蚀刻

八:半导体晶圆键合

九:单晶片光刻胶去除技术

十:晶圆清洗工艺发展的分析

十一:超宽带隙半导体

十二:臭氧清洗的半导体表面

十三:微纳米光刻技术研究进展

十四:单晶片的铝清洗

十五:单晶片处理中的无损伤清洁

十六:半导体制造超声波清洗方法

十七:薄晶圆处理挑战和新解决方案

十八:超细金属颗粒在硅片表面的行为

十九:CMP清洗工艺中的颗粒粘附和去除机制

二十:超临界二氧化碳清洗晶圆工艺

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