4、VLSI测试流程与测试设备详解

VLSI测试流程与测试设备详解

1. 测试规格与测试计划

在VLSI（超大规模集成电路）测试中，设备规格文档是开发活动的起点，它包含以下关键信息：
- 功能特性 ：待实现的算法、I/O信号特性（如定时波形、信号电平）、数据和控制信号行为以及时钟速率。
- 设备类型 ：逻辑、微处理器、存储器、模拟等。
- 物理特性 ：封装、引脚分配等。
- 技术类型 ：CMOS（或门阵列）、定制、标准单元等。
- 环境特性 ：工作温度范围、电源电压、湿度等。
- 可靠性 ：验收质量水平（百万分之几的缺陷部件）、每1000小时的故障率、噪声特性等。

如果测试规格未明确给出，则从上述数据中推导得出。基于这些规格，制定测试计划，明确测试设备类型和测试类型。测试仪的选择取决于吞吐量、时钟速率、定时精度、测试序列长度、测试仪可用性和成本等参数。测试类型可能包括参数测试、功能测试、老化测试、裕度测试、速度分选等，同时应明确故障覆盖率要求。

2. 测试仪

测试仪，即自动测试设备（ATE），其基本目的是驱动被测设备（DUT）的输入并监控其输出。快速发展的VLSI技术推动了现代ATE的发展。为VLSI设备选择ATE时，必须考虑设备的规格，主要因素包括速度（设备的时钟速率）、定时（选通）精度、输入/输出引脚数量等，其他考虑因素还有成本、可靠性、可维护性、编程便利性等。

3. 测试编程