Doing Define
doping <distribution type> <dopant type> <concentration> <position>
Distribution:uniform, gaussian, erfc(error function),
Dopant type:n.type,p.type
Position:region,x.min,x.max,y.min,y.max,peak,junction…
Eg:
p type doping
doping p.type conc=1e19 x.min=0 x.max=3 junc=1 rat=0.6 gauss
Note: The latter doping can be added into the Previous doping
本文详细介绍了在半导体工艺中如何使用DoingDefine进行掺杂分布的定义,包括均匀、高斯、误差函数等分布类型,以及n型和p型掺杂剂的选择。通过具体示例展示了如何设置掺杂浓度、位置及峰值等参数。
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