参考文件:
用到的直接按照123走。
- silvaco讲义-微电子器件与工艺模拟实验讲义
- 半导体仿真工具Silvaco TCAD学习资料
- 半导体工艺和器件仿真工具 Silvaco TCAD 实用教程
- atlas用户手册
- 网址
1.准备
在文件夹下终端输入,文件夹其实好像不重要,在开in文件的时候是可选的好像:
deckbuild
可以进入deckbuild界面。
左上代码,左下输出,右上变量,右中文件夹,右下内存占用(虽然没找到怎么多占用一点。。。)
主要功能通过deckbuild界面当中的代码完成。需要注意代码保存为in文件之后运行才可以(保存运行和运行区别很大),并且在调试过程中如果修改了代码需要中断重新保存开始,否则是继续运行而不是从头开始。
2.atlas入门
因为需要的期间都很简单就直接atlas不走anthena了。
2.1. 开启atlas:
go atlas
2.2. 定义网格
mesh
x.mesh location=0 spacing=0.01
x.mesh location=1 spacing=0.01
y.mesh location=0 spacing=0.001
y.mesh location=0.051 spacing=0.001
形如这个样子,两边的spacing不需要一定相等,可