40、精密测量领域的前沿技术：从干涉仪到微传感器及微球直径测量

精密测量领域的前沿技术：从干涉仪到微传感器及微球直径测量

在精密测量领域，不断有新的技术和方法涌现，以满足日益增长的高精度测量需求。本文将介绍几种前沿的测量技术，包括新型激光二极管干涉仪、接触式微热传感器以及基于回音壁模式的微球直径测量方法。

新型激光二极管干涉仪

研究人员开发出一种低成本的新型微型激光二极管干涉仪，具有波长补偿功能。这种干涉仪属于迈克尔逊类型，通过四个光电探测器检测由相位编码模块相移的四个干涉电流信号。其波长补偿方法基于衍射原理，这在大多数光谱仪中都有应用。此外，它还配备了两个光学自准直仪，用于检测激光束的角度漂移和实时波长，波长预测精度可达$10^{-6}$。这种干涉仪可作为高精度平台中的线性反馈传感器。

以下是该干涉仪在不同室温下的波长误差和位置误差相关数据：
| 波长预测误差比率 | 温度（°C） |
| ---- | ---- |
| -1.50E - 05 | 26.6 |
| -1.00E - 05 | 26.6 |
| -5.00E - 06 | 27.7 |
| 0.00E + 00 | 27.9 |
| 5.00E - 06 | 28 |

激光二极管干涉仪的位置误差情况如下：

graph LR
    classDef process fill:#E5F6FF,stroke:#73A6FF,stroke-width:2px;

    A(位移（mm）):::process --> B1(第一次行程):::process
    A --> B2(第二次行程):