40、精密测量技术的创新进展

精密测量技术的创新进展

在当今的工业制造和科研领域，精密测量技术的重要性日益凸显。它不仅关乎产品质量的把控，更对推动科技发展起着关键作用。本文将介绍几种创新的测量技术，包括新型激光二极管干涉仪、接触式微热传感器以及基于回音壁模式的微球直径测量方法。

新型激光二极管干涉仪

新型激光二极管干涉仪是一种低成本的微型干涉仪，具有波长补偿功能。它属于迈克尔逊型干涉仪，通过四个光电探测器检测由相位编码模块相移的四个干涉电流信号。其波长补偿方法基于衍射原理，常用于大多数光谱仪中。该干涉仪配备了两个光学自准直仪，用于检测激光束的角度漂移和实时波长，波长预测精度可达$10^{-6}$。它可以作为高精度平台中的线性反馈传感器使用。

以下是不同室温下的波长误差和激光二极管干涉仪的位置误差相关数据：
| 波长预测误差比 | 温度（°C） |
| ---- | ---- |
| -1.50E - 05 | 26.6 |
| -1.00E - 05 | 26.6 |
| -5.00E - 06 | 27.7 |
| 0.00E + 00 | 27.9 |
| 5.00E - 06 | 28 |

激光二极管干涉仪位置误差图的相关信息：
- 位移范围： - 25 - 25mm
- 位置误差范围： 0 - 60nm
- 测量行程： 第一行程、第二行程、第三行程、第四行程、第五行程

接触式微热传感器用于纳米光滑表面缺陷检测

在精密产品制造中，对纳米光滑表面的缺陷检测至关重要。传统的基于激光散射的光学方法在检测小于10nm的缺陷时存在局限性。因此，研究人员