40、精密测量技术新进展：从干涉仪到微传感器与微球测量

精密测量技术新进展：从干涉仪到微传感器与微球测量

在当今的精密测量领域，不断有新的技术和方法涌现，以满足日益增长的高精度测量需求。本文将介绍几种前沿的测量技术，包括新型激光二极管干涉仪、接触式微热传感器以及基于回音壁模式的微球直径测量方法。

新型激光二极管干涉仪

一种低成本的新型微型激光二极管干涉仪已被成功开发。它属于迈克尔逊型干涉仪，通过四个光电探测器检测由相位编码模块相移的四个干涉电流信号。该干涉仪的波长补偿方法基于衍射原理，这也是大多数光谱仪所采用的原理。此外，它还配备了两个光学自准直仪，用于检测激光束的角度漂移和实时波长，其波长预测精度可达$10^{-6}$。这种激光二极管干涉仪可作为高精度平台中的线性反馈传感器。

• 特点 ：
  • 低成本、微型化设计，适用于多种应用场景。
  • 采用先进的波长补偿方法，提高测量精度。
  • 配备光学自准直仪，可实时监测激光束状态。

参数	详情
类型	迈克尔逊型干涉仪
波长补偿原理	衍射原理
波长预测精度	$10^{-6}$
应用