转子系统与叶轮设计是分子泵技术的核心所在,直接决定了泵的整体性能、可靠性和使用寿命。这一节将深入探讨转子系统的结构特点、叶轮材料的科学选择、精密加工工艺的要点以及相关的力学分析和优化方法。
4.1.1 转子系统的结构特点
分子泵的转子系统是一个典型的高速旋转机械系统,其结构设计需要同时满足强度、刚度、动态特性和工艺性等多重要求。
多级叶轮的结构布局
现代涡轮分子泵通常采用数十级甚至上百级的叶轮结构,这种多级串联的设计需要精密的级间匹配。各级叶轮的几何参数按照气体流动特性进行优化分布:
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入口级叶轮:特征为较大的通道间距和较小的倾角,以适应较高的气体密度和较宽的分子速度分布。其流导面积 A1A_1A
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