3.4 其他类型分子泵

在传统涡轮分子泵和牵引分子泵之外，还存在多种特殊类型的分子泵，它们针对特定的应用需求和极端工作环境而开发。这些特殊分子泵在材料选择、工作原理和系统集成等方面进行了创新性的改进，拓展了分子泵技术的应用边界。

3.4.1 低温型涡轮分子泵

低温型涡轮分子泵是将低温冷却技术与传统涡轮分子泵相结合的创新产品，主要通过降低泵内温度来提升抽气性能，特别是在轻气体抽除和极限真空方面表现优异。

工作原理与热力学基础

低温泵的核心原理建立在气体分子与低温表面之间的能量交换基础上。根据气体分子运动论，气体分子在低温表面的凝结概率可以用粘附系数表示：

$$\alpha ($$