光学扫描技术:前置多边形扫描与振镜及共振扫描器解析
前置多边形扫描
在前置多边形扫描中,将特定的 A 和 m 值代入不等式(69)和(70)后,可得到相关范围。当 n 取不同值时,入射光束偏移角 2b 有不同的范围:
- n = 0 时,20° < 2b < 20°
- n = 1 时,60° < 2b < 60°
- n = 2 时,100° < 2b < 100°
由此可知,入射光束偏移角 2P 的定位公差为零。为使入射光束有足够的定位公差,需满足 A > w ,将 A = 360°/N 代入后可得到一般条件。
为确保静止的鬼像 GH 位于图像格式之外,入射光束偏移角 2P 的角度范围分别为 32°、20°、8°和 0°。同时,还给出了 10 面、12 面、15 面和 18 面多边形扫描器的角度范围。
在图 Z17 中,P 代表扫描器小平面上的入射点,图像格式视场角为 2m = 40°。对于 18 面多边形,理论上存在角度范围,但实际为零。当入射光束偏移角 2b = +w、+3w、+5w、+7w 等(2P < 180°)时,会分别在图像格式的上边缘(f/J2 = +m)和下边缘(f/J18 = -m)同时产生鬼像 GH2 和 GH18。
关于扫描器和物镜的直径,虽未在本节详细提及,但这是重要的问题。扫描器直径相对于物镜直径越小,鬼光束返回在扫描图像平面产生鬼像的可能性就越大;扫描器离物镜越近,这种可能性也越大。
为避免鬼像出现在图像格式内,入射光束偏移角存在多个角度区域,这些区域的扫描占空比 ‘YJ 取决于光束宽度 D、多边形扫描器的直径
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