37、多边形扫描仪：组件、性能与设计详解

多边形扫描仪：组件、性能与设计详解

1. 多边形镀膜相关要点

1.1 镀膜时间与反射率均匀性

在薄膜沉积过程中，多边形镜的单次旋转时间应远小于单层镀膜时间，否则多边形镜各部分的镀膜效果会因快门开闭时间不同而产生显著差异。反射率均匀性，包括单个面内以及面与面之间的均匀性，是多边形镜的重要指标，它会影响图像读写的准确性。实践中，较大尺寸的多边形镜面（如几英寸见方）实现反射率均匀性比小尺寸镜面（如较小面积）更困难，这与镀膜前表面清洁的一致性以及镀膜室内不同位置和时间的沉积速率变化有关。

1.2 镀膜温度限制

铝制多边形镜在镀膜过程中不能像常规那样加热到高温以实现良好的附着力和膜层密度，因为其形状使其在加热循环中容易产生轻微的应力变化，进而影响面的平整度。为保持平整度，镀膜过程应将多边形镜的温度控制在 225°C 以下。

1.3 镀膜前清洁

镀膜前多边形镜的清洁至关重要。无论采用何种制造方法，在检测、运输和安装到镀膜室的过程中，多边形镜都会被处理，因此必须彻底清洁，以去除可能降低表面质量、影响镀膜附着力或在镀膜系统中产生气体的异物。

1.4 镀膜光学性能测量工具

• 分光光度计 ：用于提供反射率与波长的关系信息。大多数配备反射率测量附件的分光光度计适用于直径约 1 - 2 英寸的小样本，通常无法直接测量多边形镜本身。可使用与多边形镜同时镀膜的见证样本代表实际部件性能，但见证样本的表面处理和质量水平需与多边形镜相似，例如金刚石车削的多边形镜应搭配金刚石车削的见证样本，抛光镜应搭配抛光的见证样本。