process corner工艺角

不同的晶片和不同的批次之间，MOSFETs参数的变化范围比较大。为减轻设计困难度，需要将器件性能限制在某个范围内，并报废超出这个范围的芯片，来严格控制预期的参数变化。工艺角即为这个性能范围。[1]

5-corner model：

5-corner model有5个corners：TT，FF，SS，FS，SF。前后两个字符分别对应NMOS和PMOS。其中TT是指typical corner。Typical表示晶体管饱和电流的平均值。单一器件所测的结果是呈正态分布的。均值为TT，最小最大限制为SS和FF。饱和电流（Isat）大的器件，阈值电压小（LVT），运行速度快（F）。饱和电流（Isat）小的器件，阈值电压大（HVT），运行速度慢（S）。

不同的工艺不同的device对应的sigma值不同。如果NMOS和PMOS的性能与Typical的偏差在3sigma时，也能满足设计需求，则此corner芯片为3SS或者3FF corner 芯片。

 

 

[1]https://wenku.baidu.com/view/bcbe0efa941ea76e58fa044c.html