台阶仪能检测哪些东西?主要应用在哪些域?

本文介绍了台阶仪在工业测量中的广泛应用,特别关注其工作原理,如线性可变差动电容传感器(LVDC)的高精度特性。文章详细列举了半导体、大型基板、显示屏幕和柔性电子器件等领域的典型应用案例,强调其测量的广泛性和准确性。

台阶仪是一种常见的工业测量仪器,广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

工作原理
当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
CP200台阶仪采用线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃,具有良好的测量精度及重复性。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等,没有特别的要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用广泛的微纳样品测量手段。

**

典型应用

**
1、半导体应用
(1)沉积薄膜的台阶高度
(2)抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度
(3)蚀刻速率测定
(4)化学机械抛光(腐蚀、凹陷、弯曲)
2、大型基板应用
(1)印刷电路板(突起、台阶高度)
(2)窗口涂层
(3)晶片掩模
(4)晶片卡盘涂料
(5)抛光板
3、玻璃基板及显示器应用
(1)AMOLED
(2)液晶屏研发的台阶步级高度测量
(3)触控面板薄膜厚度测量
(4)太阳能涂层薄膜测量
4、柔性电子器件薄膜应用
(1)有机光电探测器
(2)印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
(3)触摸屏铜迹线

评论
成就一亿技术人!
拼手气红包6.0元
还能输入1000个字符
 
红包 添加红包
表情包 插入表情
 条评论被折叠 查看
添加红包

请填写红包祝福语或标题

红包个数最小为10个

红包金额最低5元

当前余额3.43前往充值 >
需支付:10.00
成就一亿技术人!
领取后你会自动成为博主和红包主的粉丝 规则
hope_wisdom
发出的红包
实付
使用余额支付
点击重新获取
扫码支付
钱包余额 0

抵扣说明:

1.余额是钱包充值的虚拟货币,按照1:1的比例进行支付金额的抵扣。
2.余额无法直接购买下载,可以购买VIP、付费专栏及课程。

余额充值