白光干涉仪测量原理及干涉测量技术的应用

标题白光干涉仪测量原理

基本原理：白光干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束，一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射，两束反射 光最终汇聚并发生干涉。两束相干光间光程差的任何变化会灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起。通过测量干涉条纹的变化，就可以测量出被测表面的相关物理量。
白光的特点及优势：白光属于多色光，具有连续的光谱。与单色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范围内会出现彩色的干涉条纹，并且只有在零光程差附近的极小范围内才会出现清晰的、对比度高的干涉条纹。这一特性使得白光干涉仪在测量时能够通过精确寻找零光程差位置来实现高精度的测量，对于微观形貌的测量具有独特的优势。

标题干涉测量技术的应用

1、在工业生产中的应用：
（1）半导体制造：在半导体芯片制造过程中，白光干涉仪可用于测量芯片表面的形貌、薄膜厚度、台阶高度等参数，对芯片的制造工艺进行监控和质量检测。例如，在光刻工艺后，可检测光刻胶的厚度和表面平整度；在刻蚀工艺后，可测量刻蚀深度和表面粗糙度，确保芯片的性能和可靠性。而具备双重防撞保护功能的白光干涉仪，在操作过程中更加安全可靠。Z 轴上装有防撞机械电子传感器以及软件 ZSTOP 防撞保护功能，为精密的测量过程提供了双重保障，让用户在进行半导体制造的高精度测量时多一重安心。
（2）光学加工：用于光学镜片、透镜、棱镜等光学元件的表面形貌测量和质量检测。可以测量光学元件的表面粗糙度、曲率半径、面形精度等参数，帮助优化光学加工工艺，提高光学元件的质量。例如，在高精度光学镜头的制造中，白光干涉仪可以检测镜头表面的微观形貌，确保镜头的成像质量。有了双重防撞保护功能，能有效避免在测量过程中因意外碰撞对仪器造成的损坏，保证了光学加工领域持续稳定的高精度测量。
（3）汽车零部件制造：汽车发动机的缸体、活塞、气门等零部件的表面形貌和尺寸精度对汽车的性能和可靠性至关重要。白光干涉仪可以用于这些零部件的表面粗糙度、平面度、圆柱度等参数的测量，为汽车零部件的制造提供高精度的检测手段。其双重防撞保护功能更