一文读懂微观测量：光学3D轮廓仪与共聚焦显微成像的结合应用

在当今科技飞速发展的时代，众多行业正朝着精细化、微型化的方向大步迈进。当芯片上的晶体管小到肉眼不可见，当手机摄像头镜片需要纳米级平整度，传统测量工具还能扛得住吗？在这样的行业大背景下，复合型光学3D表面轮廓仪创新性地集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点，为微观测量领域带来了的变化。

集成带来的测量灵活性飞跃

传统单一测量设备要么精度不足，要么无法兼顾复杂结构。而白光干涉仪+共聚焦显微镜双模式融合，纳米级难题迎刃而解！

1、白光干涉模式利用白光干涉原理，实现从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量，可测量0.1nm及以下的粗糙度和纳米级的台阶高度。
2、共聚焦模式以共聚焦技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，具备锐角度测量能力，可测量倾角接近90°的微观形貌。
复合型光学3D表面轮廓仪将这两者的优势融合，实现了 “1 + 1> 2” 的效果：
1、白光干涉模式：纳米级“温柔扫描”
不伤表面：非接触测量，连脆弱纳米材料都能“轻抚”检测。
超高精度：粗糙度测量精度达0.005nm，相当于头发丝的十万分之一！
适用场景：芯片硅片超光滑表面、光学镜片曲率测量，分分钟出结果。
2、共聚焦显微镜模式：复杂结构“透视眼”
死角全灭：大角度、深槽结构（如芯片引脚）3D成像无压力。
动态追踪：实时观察材料变化，定位镜片内部缺陷。
这种根据不同测量场景和样品特性，灵活切换测量模式的能力，拓展了仪器的适用范围，为各行业的研发和生产提供了全方位的测量支持。

提升测量效率与精度

1、自动测量：一键完成多区域检测，还能自动拼接大尺寸样品图像，省时90%。
2、智能防翻车：气浮隔振底座隔绝振动，镜头防撞设计，手残党也能放心操作。
3、超高精度：形貌重复性0.1nm，粗糙度 RMS 重复性为 0.005nm，台阶测量准确度达 0.5%、重复性 0.1%（1σ），导弹光学元件检测就靠它！

多行业应用彰显关键价值

从手机到火箭，复合型光学3D表面轮廓仪都能干啥？

• 3C电子：镜头、MEMS传感器、折叠屏铰链，测到就是赚到。
• 航空航天：发动机叶片缺陷检测？直接定位0.1μm级裂纹！
  

以前测一个芯片要换两台设备，现在一台复合型光学3D表面轮廓仪十分钟搞定！你的行业是否面临纳米级测量难题？