光学型轮廓仪精准测量衍射非球面

本文探讨了衍射非球面在光学领域的应用及其独特优势,强调了高精度测量的挑战,特别是中图仪器SJ5900光学型轮廓仪如何提供解决方案,包括高精度接触式测量、一体封闭设计和智能软件系统。

衍射非球面是一种特殊形状的光学元件,其曲率在不同方向上不均匀变化,与传统的球面形状不同,在衍射非球面上,光线通过非球面的表面时会发生衍射现象,这种衍射会使得光线的波前形状被改变,从而实现特定的光学功能,提高成像质量和性能。
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衍射非球面

衍射光学元件是以光的衍射效应为基本工作原理,通过表面微浮雕结构来调制入射波面,从而得到所希望的波面。为了实现更丰富的光学功能,增加光学设计自由度,通常把衍射元件的微结构叠加在非球面的基底上。
在光学设计软件 CODE V 中,旋转对称衍射面表示为:
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式中:n1、n2 分别是衍射面之前的介质折射率和衍射面之后的介质折射率;λ0为等效设计波长;c1、c2、c3 分别是衍射面2、4、6 次相位系数;HOR为衍射级次。从公式中可以看出,衍射面方程涵盖了非球面基底以及衍射微结构特征,其光学设计含义如下图所示。衍射光学元件是将连续折射 面形折叠为衍射结构,在达到相同光学性能的条件下,实现光学系统的小型化及轻量化。
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衍射非球面广泛应用于各个领域,包括光学镜头、显微镜、摄影镜头、激光光束整形、天文望远镜等,它们在科学研究、医疗诊断、工业检测、通信传输等领域中发挥着重要作用。通过精确的光学设计和加工工艺,衍射非球面镜片可以实现更广阔的视场、更高的分辨率和更好的像差控制。

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