3.1 分子泵的基本抽气原理

于 2025-11-26 09:15:59 发布
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分类专栏： 分子泵系统原理 文章标签： 分子泵
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分子泵的抽气原理建立在气体分子运动论的基础之上，其核心在于通过机械运动与气体分子发生动量交换，从而实现气体的定向输运。要深入理解这一原理，需要从微观的分子行为出发，逐步构建起宏观的抽气性能参数之间的关系。

3.1.1 动量传递理论

分子泵工作的物理基础是气体分子与高速运动表面之间的动量交换。在分子流状态下（克努森数 Kn>1K_n > 1K

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