3.2 涡轮分子泵

于 2025-11-26 09:27:33 发布
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分类专栏： 分子泵系统原理 文章标签： 分子泵
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涡轮分子泵作为现代高真空和超高真空获得技术的核心设备，其设计理念和工作原理充分体现了气体分子运动论在工程实践中的精妙应用。本节将深入探讨涡轮分子泵的工作原理、结构特点、性能特征以及设计考量，为理解和应用这一重要设备奠定坚实的理论基础。

3.2.1 工作原理与叶列设计

涡轮分子泵的核心工作机制建立在分子流状态下气体分子与高速旋转叶片系统的动量交换基础上。与基于粘滞拖曳效应的牵引分子泵不同，涡轮分子泵专门针对分子流状态优化，其工作效率在克努森数 Kn>1K_n > 1K

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