36、3D 六边形膜结构电容式微加工超声换能器研究

3D 六边形膜结构电容式微加工超声换能器研究

1. 引言

在超声换能器领域，3D 六边形膜结构的电容式微加工超声换能器（CMUT）具有独特的性能和应用潜力。本文将对其相关研究进行探讨，包括六边形膜之间的距离、膜阵列的位移以及膜位移的研究等方面。

2. 六边形膜距离与膜阵列位移

2.1 六边形膜之间的距离

六边形膜之间的距离是影响 CMUT 性能的重要因素之一。研究中给出了不同距离的情况，具体如下：
- a: 1 µm
- b: 2 µm
- c: 5 µm
- d: 8 µm

2.2 六边形膜阵列的位移

同样，六边形膜阵列的位移也有不同的情况，如下所示：
- a: 1 µm
- b: 2 µm
- c: 5 µm
- d: 8 µm

可以用如下 mermaid 流程图展示这两种情况的关系：

graph LR
    classDef process fill:#E5F6FF,stroke:#73A6FF,stroke-width:2px;
    A(六边形膜):::process --> B(膜间距):::process
    A --> C(膜阵列位移):::process
    B --> B1(1 µm):::process
    B --> B2(2 µm):::process
    B --> B3(5 µm):::process
    B --> B4(8 µm):::