二维材料在非易失性电阻式存储器与射频开关中的应用
1 二维非易失性电阻式存储器简介
随着物联网(IoT)无线通信和连接系统在全球范围内的发展,对存储器的需求不断增加。过去几十年,人们在开发高密度、低成本、非易失性存储设备方面付出了巨大努力。
与动态随机存取存储器(DRAM)和静态随机存取存储器(SRAM)等易失性存储器相比,非易失性存储器具有零静态功耗的特点,在能源效率方面更具吸引力。其中,闪存(Flash)是固态非易失性存储器市场的主流产品,但由于短沟道效应和沟道泄漏问题,其可扩展性面临极限。
为满足新的需求,研究人员正在探索新兴的存储器技术。相变存储器(PCM)基于相变材料,通过热过程在结晶相和非晶相之间可逆切换,从而改变电阻率。然而,热邻近效应限制了PCM的应用。
电阻式随机存取存储器(RRAM)是另一种重要的新兴非易失性存储器。它不依赖热过程,功耗低于PCM。传统RRAM采用金属 - 绝缘体 - 金属(MIM)结构,具有结构和材料简单、工作电压低、能耗低、运行速度快、密度高、保留时间长和状态调制范围广等优点。RRAM基于高电阻状态(HRS)和低电阻状态(LRS)之间的非易失性电阻切换(NVRS)工作,从HRS到LRS的切换称为“SET”过程,从LRS到HRS的切换称为“RESET”过程。通常,新样品需要比SET电压更高的电压来触发电阻切换行为,这一激活步骤称为“形成”过程。电阻切换可分为单极和双极两种模式,单极模式下SET/RESET可在相同偏置极性下发生,双极模式则需要相反的偏置极性。
为了继续缩小存储单元尺寸,实现高密度存储,二维(2D)材料被认为是克服NVRS垂直缩放障碍的有前途的候选材料。近年来,在各种多层2D材料中观察到了
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