《炬丰科技-半导体工艺》多重视觉晶圆对齐新工艺制造方法

原创 于 2021-08-07 11:05:14 发布 · 274 阅读 · 0 ·
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本文介绍了炬丰科技提出的基于视觉方法的晶圆对准新工艺，该方法使用三个摄像头进行晶圆定位和旋转，应用于批量生产的晶圆、板贴合机上，减少了晶圆键合的工艺步骤和时间，提升了半导体制造的效率。

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：多重视觉晶圆对齐新工艺制造方法

编号：JFKJ-21-187

作者：炬丰科技

摘要

  在半导体制造中，晶圆对准器已经得到了广泛的应用

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