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RSS订阅原创 运动控制之光栅尺核心性能：分辨率、定位精度、重复定位精度
摘要：光栅尺在半导体制造的高精度运动控制中至关重要，其核心参数直接影响系统重复定位精度。分辨率决定最小运动步距，随机噪声RMS无法补偿需谨慎选择，精度可通过控制器或干涉仪校正。分析表明，光栅尺误差无法通过反馈完全消除，但高级控制器提供线性/非线性补偿功能。选型时需综合考量分辨率、噪声、精度等参数，并结合控制系统补偿能力以优化整机性能。
2025-10-31 14:32:33
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原创 ACS基础运动控制算法介绍
借助常用的商用控制器ACS的文档，介绍高精度控制器算法的实现逻辑提示：以下是本篇文章正文内容目前市面上的控制算法非常多，诸如MTPA，弱磁，自适应PID等等；但在市场上占据核心地位的还是PID + Filter + Feedforword这样的组合，ACS也是如此。
2025-07-22 17:53:32
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空空如也
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