Ansys Zemax | 在 OpticStudio 中将干涉仪数据附加到光学表面 – 第二部分

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表面的干涉仪数据包含不规则度的相关信息，包括旋转对称不规则性 (RSI)、用于确定中空间频率的斜率误差以及其他表面形状制造误差。这些制造误差取决于在球面或非球面上进行的抛光类型，可以是传统的沥青抛光、高速抛光以及磁流变抛光 (MRF)。由于很难使用 Zernike 项来模拟所有这些类型的表面形状变化，因此确定表面误差如何影响整体系统级性能的最佳方法是在 OpticStudio 中将测得的干涉仪数据直接链接到光学表面。

在第一部分文章：Ansys Zemax | 在 OpticStudio 中将干涉仪数据附加到光学表面 – 第一部分中，我们演示了如何根据表面形状和方向将干涉测量数据导入 OpticStudio，本部分文章我们将引入更多的实例演示。

双凸透镜

作为实际演示案例，让我们使用与之前相同的规格对双凸透镜进行建模：

• 通光孔径：25.85 mm

• 半径：111.9837 mm [注：半径在 Zygo 生成的XXX.DAT数据文件中标明]

• 峰谷波前误差：0.433 waves，RMS 波前误差：0.084 waves，测试波长 632.8 nm

为了验证我们可以附加 OpticStudio 生成的 YYY.DAT 文件至镜头的前表面，并针对镜头后表面使用倒置和翻转数据文件，我们创建了一个镜头系统。镜头中名义双凸透镜与导入数据透镜一起完美地聚焦准直入射光束，而不会产生残余波前误差。我们使用多重结构系统，其中第一个结构包含名义双凸透镜，而第二个结构添加了干涉测量结果。

与以前类似，光圈类型设置为按光阑尺寸浮动，但光阑表面是具有 25.85 mm半直径的虚拟表面，位于双凸透镜前 5 mm处。

在测试的双凸透镜基础上，使用透镜曲率半径和后表面圆锥系数优化名义结构 RMS 波前误差，名义结构的波前误差基本上为 0（RMS 波前误差：0.0001 waves）。

导入后数据，OpticsStudio 生成了 YYY.DAT 文件导入到镜头的前表面，并将翻转和倒置的数据文件导入到镜头的背面，即多重结构 OpticStudio 模型，如下所示。