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五、硅通孔 TSV(Through Silicon Vias)
一、Substrate(衬底或基板)
衬底和基板都可以用英文中的单词substrate来表示。衬底是指用于电子产品封装的板材,它提供了电子元器件的支撑和电气连接。衬底的材料可以是硅、陶瓷或有机材料,具体选用哪种材料取决于应用的特定要求。
最常见分两种,一种是硅工艺的互连衬底,另一种是封装有机基板,具体来说:
(1)硅工艺的互连衬底
硅工艺的互连衬底是指使用硅材料制作的基板,用于电子产品的封装。硅是一种半导体材料,具有较高的热导率和电导率,因此在封装电子产品时常常使用硅基板。硅基板的生产工艺比较复杂,需要经过多个步骤,包括硅片的切割、表面处理、基板制备和定向处理等。
硅工艺的互连衬底具有较高的热稳定性,可以在高温条件下使用。此外,硅基板的电气性能也很好,具有较低的电阻和较高的电容,因此在高频电路的应用中非常常用。但是,硅基板的生产成本较高,因为它们的生产工艺比较复杂,并且在生产过程中使用的材料也较昂贵。
(2)封装有机基板
封装有机基板(Organic Substrate)是一种通常用于芯片封装的基板材料。它的主要成分是有机材料,通常是基于聚酯、玻璃纤维或陶瓷材料的有机复合材料,具有较低的热导率和较高的电气绝缘性能,这使得它们在高频电路的应用中具有一定的优势。此外,封装有机基板的生产成本通常比硅基板低,因为它们的生产工艺更简单,而且在生产过程中可以使用较低成本的材料。
尽管封装有机基板具有一些优势,但它们也存在一些局限性。封装有机基板的温度稳定性较差,通常不能在高温条件下使用。此外,封装有机基板的电气性能也较差,具有较高的电阻和较低的电容。这使得它们在高频电路的应用中受到限制(要求更有效地传输和储存电荷)。
在选择封装基板时,应考虑应用的特定要求,并综合考虑各种因素,如材料性能、生产成本、温度稳定性和电气性能等。
封装有机基板工艺相对于硅工艺的互连衬底工艺有以下优势:
- 材料成本低:封装有机基板的材料成本低,相对于硅工艺的互连衬底材料成本降低很多。
- 生产成本低:封装有机基板的生产成本低,相对于硅工艺的互连衬底生产成本降低很多。
- 可靠性高:封装有机基板的可靠性高,相对于硅工艺的互连衬底可靠性更高。
相对于硅工艺的互连衬底,封装有机基板工艺成熟,在材料和生产成本上有巨大优势。
(3)基础知识科普
A.关于热导率:是指物质对热的传导能力的度量。它是表示物质内部的热流密度与表面温度差的函数。热导率越大,物质对热的传导能力就越强;热导率越小,物质对热的传导能力就越弱。因此,较低的热导率意味着物质对热的传导能力较弱,在同样的温度差下,物质内部的热流密度也就较低。这意味着,使用具有较低热导率的材料可以更有效地散热,在高温条件下也可以保持较低的温度。
B.关于电导率:是指物质对电流的传导能力的度量。它是表示物质内部电流密度与电动势差的函数。电导率越大,物质对电流的传导能力就越强,在同样的电动势差下,物质内部的电流密度也就较高;电导率越小,物质对电流的传导能力就越弱。这意味着,使用具有较高电导率的材料可以更容易地传导电流。
C.电气绝缘性:是指物质对电流的隔绝能力的度量。它是表示物质内部电流密度与表面电动势差的函数。电气绝缘性越高,物质对电流的隔绝能力就越强;电气绝缘性越低,物质对电流的隔绝能力就越弱。因此,

本文详细介绍了半导体封装技术,包括Substrate(衬底或基板)的类型,如硅工艺的互连衬底和封装有机基板,以及各自的特点和优缺点。接着,讲解了RDLInterposer技术、硅中介层(SiInterposer)、嵌入式硅桥(EMIB)和硅通孔TSV(ThroughSiliconVias)等先进技术,分析了它们在提高芯片性能、带宽和集成度方面的贡献。最后,总结了各种技术的关键优势和应用场景,为电子封装领域的理解和选择提供了深入的见解。
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