书籍：《炬丰科技-半导体工艺》
文章：湿处理过程中硅介质上污染物的沉积
编号：JFKJ-21-616
作者：炬丰科技
摘要
光伏制造湿法工艺步骤的评估表明杂质可能沉积在硅介质上。在取出晶片时，液体层保留在硅表面上。
当液体蒸发时，液体中的任何污染物都会沉积在硅上。该数据表明，影响杂质沉积的最大因素是熔池中杂质的浓度。
湿法加工中的污染源
将硅片加工成光伏电池涉及多个步骤
《炬丰科技-半导体工艺》湿处理过程中硅介质上污染物的沉积
探讨了光伏制造过程中湿法工艺导致的硅片污染问题。金属污染物如铁会缩短载流子寿命并降低电池效率。研究指出，湿法加工中的污染主要来源于化学试剂接触的材料，如管道和容器等。
最低0.47元/天 解锁文章
扫一扫
被折叠的 条评论
为什么被折叠?
到【灌水乐园】发言
