想看高分子材料或生物样品的真实形貌,不喷金是最好的,但直接看很容易荷电,图像甚至会漂;一旦降低加速电压(比如降到1kV),荷电是没了,可分辨率也跟着掉了,画面肉肉的,细节全无。
针对这个痛点,CEM3000A这次升级主要针对成像质量(特别是低电压)、测量精度和操作手感这三个老大难问题进行了底层优化。
1、镜筒内加减速:低电压下的无损观测
这是本次升级最大的亮点之一。我们在镜筒设计上引入了镜筒内加减速技术,并配合复合透镜设计。简单来说,就是让电子束在镜筒内保持高速飞行以维持高质量,但在抵达样品前的最后时刻进行“减速”。这就好比给赛车装了强力刹车,既能跑得快,又能停得稳。
这就解决了一个核心痛点:极大增强了全电压下的极限分辨率,特别是低电压下的成像效果。来看实测对比。
(1)静电纺丝
对于静电纺丝这类不导电样品,以前不开加减速时,画面噪点多,纤维边缘模糊;开启加减速后,即便在低压下,纤维的堆叠层次、单根纤维的表面平滑度都清晰可见。
(2)生物蚊虫
对于生物领域的蚊子翅膀样品,我们在2kV低电压且未喷金的状态下直接观测,翅膀表面的微观纹理、绒毛细节毫发毕现。


这意味着,以后做纺织纤维或生物切片,你可以省去繁琐的喷金步骤,直接通过低电压还原样品的原始状态。
2、让电镜回归测量工具的严谨
扫描电镜不仅仅是照相机,对很多半导体和金相客户来说,它更是精密尺子。但很多电镜在低倍率下存在场曲(边缘模糊),或者X/Y轴比例不一致(正交畸变),导致测出来的数据不可信。
此次升级算法校准:
(1)正交畸变校准:我们引入了外层线圈补偿,将旋转式补偿标定电压锁定在90±0.2°。这意味着你的图像在X/Y方向上不再有拉伸畸变,不管是测孔径还是测线宽,横着测竖着测,数据都过硬。
(2)场曲校准:解决了低倍率(尤其是200X下)画面中心清晰、四周模糊的问题。现在,全视野范围内都是清晰的测量区。

(3)动态聚焦功能:针对大倾角样品(如引线键合、断口分析),我们升级了动态聚焦功能。它能实现画面Y方向的电子束线性或对称线性聚焦,哪怕样品是斜着放的,也能保证从上到下都在焦平面上,不用来回调焦距。

3、新手也能丝滑上手操作
除了硬指标,操作的顺手程度也是这次升级的重点。以前调像散像动一下像散旋钮,画面就跑偏了。现在CEM3000A加入了Focus Wobble(聚焦摆动)+ 像散线圈对中功能。
(1)体验提升:在调节像散的过程中,画面位移被大幅减少。配合软件联控,调节过程更轻松,不用再考验操作员的微操手感。
(2)自动消磁流程:这是一个很贴心的细节。切换电压及工作距离时,消磁流程会自动介入,保证图像保持清晰,无需重新寻找焦距。
(3)结合灯丝快换设计,这一系列辅助功能的加入,让复杂的电镜操作变得更加标准化、傻瓜化。
(本文数据及图片源自中图仪器实测报告)
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