本文仅供学习,不作任何商业用途,严禁转载。绝大部分资料来自----数字集成电路——电路、系统与设计(第二版)及中国科学院段成华教授PPT
超大规模集成电路设计----MOS器件原理(三)
- 3.1半导体物理知识补充
- 3.2二极管
- 3.3 对MOS器件的定性理解Qualitative understanding of MOS devices
- 3.3 工艺偏差的影响Impact of process variations
- FinFET:前景与挑战FinFET: The Promises and the Challenges
- 补充1:阈值电压的相对详细推导
- 补充2:High-k dielectric? Low-k dielectric?
为什么要学习这一章:MOS器件是组成大部分现代数字电路的基础,我们确实可以使用Verilog等硬件描述语言来描述电路,把复杂的底层问题交给EDA软件,但想要对数字电路有更深刻的理解肯定是需要了解它底层的机理的,在这里我们也不讲的很复杂,对于过于复杂的推导可以看相关半导体物理的书籍,本博文仅仅对MOS器件做简单的推导,完整版推导可以自行查看《-数字集成电路——电路、系统与设计(第二版)》。标黄部分属于必须掌握的部分,黑体部分表示强调部分,有助于理解,对于普通字体部分,时间紧急的浏览者可以选择忽略,对于初学者,建议博文每部分都需要连贯阅读。
3.1半导体物理知识补充
- 工程前提The engineering premise
It is a well-known premise in engineering that the conception of a complex construction without a prior understanding of the underlying building blocks is a sure road to failure.在工程学中,一个众所周知的前提是,在没有事先了解底层构建块的情况下,复杂结构的概念是一条必经之路。 - The goal
Our goal is to describe the functional operation of the devices, to highlight the properties and parameters that are particularly important in
the design of digital gates.我们的目标是描述设备的功能操作,突出在数字门设计中特别重要的特性和参数。 - The models
We present both first-order models for manual analysis as well as higher-order models for simulation for each component of interest.
我们提供了用于手动分析的一阶模型,以及用于模拟每个感兴趣组件的高阶模型。 - Actual parameters and process variations 实际参数和工艺变化
1. 半导体材料

上面都是可以制作半导体的材料
2. 固体类型
✓ 非晶体Amorphous materials have order only within a few atoms or molecular dimension.完全乱的
✓ 多晶Polycrystalline materials have a high degree of order over many atoms or molecular dimensions. 局部规则
✓ 单晶Single-crystal materials, ideally, have a high degree of order, or regular geometric periodicity, through the entire volume of the material. 全部规则

3.2二极管
明明我们讲的是CMOS电路,为什么要学习二极管?
MOS管内存在寄生二极管,这些MOS电路中均工作在反偏的二极管会影响MOS器件的电容,电容就会影响MOS管的动态特性!
- P型材料,一般是在硅里面掺杂硼B等三价材料,因为B三个电子,抢走了Si的一个电子,留下了空穴。所以叫P型材料,把B称为受主杂质(acceptor)
- N型材料,一般是在硅里面掺杂磷P等五价材料,因为P五个电子,多了一个电子,所以叫N型材料,把P称为施主杂质(donor)
我们把电子和空穴统称为载流子(carriers)。
3.2.1 二极管–耗尽区



a、b、c图分别表示二极管实际版图,一维图和电路符号。

这张图表示处于零偏置状态下的PN结各种曲线。零偏置状态下PN结存在一个内建电势The built-in potential barrier
这个内建电势的公式如下:
ϕ 0 = ϕ T ln [ N A N D n i 2 ] \phi_0=\phi_T\ln\biggl[\frac{N_AN_D}{n_i^2}\biggr] ϕ0=ϕTln[ni2NAND]其中热电势 ϕ T = k T q = 26 m V at 300 K \phi_T=\dfrac{kT}{q}=26m\text{V at 300 K} ϕT=qkT=26mV at 300 K
NA 和 ND 分别是 pn 结的 p 区和 n 区的受主杂质和施主杂质的浓度。最初,边界处的电子和空穴浓度都存在较大的浓度梯度。多数载流子电子将开始从 n 区域扩散到 p 区域,多数载流子空穴将从 p 扩散到 n。在结点处,大多数载流子中和,留下固定(不动)受体和供体离子的区域(净带正电荷和负电荷)称为耗尽区或空间电荷区。 电荷在边界上产生一个电场,从 n 区引导到 p 区。 它使电子从 p 漂移到 n,空穴从 n 漂移到 p。注意扩散电流是浓度梯度造成的,漂移电流是耗尽电荷电场导致的。
补充知识
室温下,硅的本征载流子浓度 n i = 1.5 × 1 0 10 c m − 3 n_i= 1.5 \times10^{10} cm^{-3} ni=1.5×1010cm−3
不同符号所表示浓度不同,如下图所示

3.2.2 静态特性
1.理想二极管方程
I D = I S ( e V D / Φ T − 1 ) I_D=I_S\left(e^{V_D / \Phi_T}-1\right) ID=IS(eVD/ΦT−1)
Φ T Φ_T ΦT是热电压,在室温下等于26 mV
I S I_S IS 是一个经验值,称为二极管的饱和电流
2. 手工分析模型 Manual Analysis

在一阶模型中,可以合理地假设导电二极管上有一个固定的压降 V Don V_{\text {Don }} VDon 。虽然 V Don V_{\text {Don }} VDon 的值取决于IS,但通常假定值为0.7 V(模电学的0.7压降就是这么来的)。下面看一个例子。

3.2.3 动态或者瞬态特性
前面讲的二极管都是静态的,即我们给定一个大信号电压或电流来观察特性,但是集成电路中电压是经常变化的,所以我们有必要讨论二极管的动态特性。
事实上,MOS数字集成电路中的所有二极管都是反向偏置的,并且在任何情况下都应该保持反向偏置。 因此,我们将只关注在反向偏置条件下控制二极管动态响应的因素,即耗尽区电荷。
在二极管外部加上正向电压,提供载流子的源头应该是一个外部的电源,此时应该是电子注入n区和空穴注入p区,从而耗尽区中的电离杂质被中和,其宽度变窄。千万不要理解成了,在PN结外面加个正向偏置,这个电压把N区的电子吸过来,把P区的空穴排走,然后耗尽区更宽。
- 耗尽区电容Depletion-Region Capacitance
(1) Depletion-region charge (VD is positive for forward bias).
Q j = A D ( 2 ε s i q N A N D N A + N D ) ( ϕ 0 − V D ) Q_j=A_D \sqrt{\left(2 \varepsilon_{s i} q \frac{N_A N_D}{N_A+N_D}\right)\left(\phi_0-V_D\right)} Qj=AD(2εsiqNA+NDNAND)(ϕ0−VD)
(2) Depletion-region width.
W j = W 2 − W 1 = ( 2 ε s i N A + N D q N A N D N A N D ) ( ϕ 0 − V D ) W_{j}=W_{2}-W_{1}=\sqrt{\left(\frac{2\varepsilon_{si}N_{A}+N_{D}}{q}\frac{N_{A}N_{D}}{N_{A}N_{D}}\right)(\phi_{0}-V_{D})} Wj=W2−W1=(q2εsiNA+NDNANDNAND)(ϕ0−VD)
(3) Maximum electric field.
E j = ( 2 q ε s i N A N D N A + N D ) ( ϕ 0 − V D ) E_j=\sqrt{\left(\frac{2q}{\varepsilon_{si}}\frac{N_AN_D}{N_A+N_D}\right)(\phi_0-V_D)} Ej=(εsi2qNA+NDNAND)(ϕ0−VD)
Φ0 is the built-in potential, ε s i ε_{si} εsi stands for the (相对介电常数)electrical permittivity of silicon and equals 11.7 times the permittivity of a vacuum. W2/(-W1) = NA/ND。 我们取硅的相对介电常数为11.7
A depletion-layer capacitance can be defined
C j = d Q j d V D = A D ( ε i q 2 N A N D N A + N D ) ( ϕ 0 − V D ) − 1 = C j 0 1 − V D / ϕ 0 \begin{aligned}C_j&=\frac{\mathrm{d}Q_j}{\mathrm{d}V_D}=A_D\sqrt{\left(\frac{\varepsilon_iq}{2}\frac{N_AN_D}{N_A+N_D}\right)(\phi_0-V_D)^{-1}}\\&=\frac{C_{j0}}{\sqrt{1-V_D/\phi_0}}\end{aligned} Cj=dVDdQj=AD(2εiqNA+NDNAND)(ϕ0−VD)−1=1−VD/ϕ0Cj0
where C j 0 C_{j0} Cj0 is the capacitance under zero-bias conditions and is only a function of the physical parameters of the device.
C j 0 = A D ( ε s i q 2 N A N D N A + N D ) ϕ 0 − 1 C_{j0}=A_{D}\sqrt{\left(\frac{\varepsilon_{si}q}{2}\frac{N_{A}N_{D}}{N_{A}+N_{D}}\right)\phi_{0}^{-1}} Cj0=AD(2εsiqNA+NDNAND)ϕ0−1
对于线性结,可以提供结电容的更通用表达式
C j = C j 0 ( 1 − V D / ϕ 0 ) m C_j=\frac{C_{j0}}{(1-V_D/\phi_0)^m} Cj=(1−VD/ϕ0)mCj0 重要公式,需要记住!同时要注意这是单位面积电容,不是实际电容
where m m m is called the grading coefficient(梯度系数) and equals 1/2 for the abrupt junction(梯度结) and 1/3 for the linear or graded junction(线性结).

可以观察到很强的非线性依赖性。另请注意,电容会随着反向偏置的增加而减小:5 V的反向偏置会使电容减小两倍以上
- 大信号耗尽区电容
定义了一个等效的线性电容 C e q C_{eq} Ceq,即对于从电压 V h i g h V_{high} Vhigh 到 V l o w V_{low} Vlow, 的给定电压摆幅,转移的电荷量与非线性模型预测的电荷量相同。意思就是说,就是我们定义一个等效电容,让这个等效电容反偏电压变化与真实二极管电压变化一致,用真实二极管电容变化的电荷量,比上这个电压变化量,就是等效电容 C e q C_{eq} Ceq的大小。
C e q = Δ Q j Δ V D = Q j ( V h i g h ) − Q j ( V l o w ) V h i g h − V l o w = K e q C j 0 C_{eq}=\frac{\Delta Q_{j}}{\Delta V_{D}}=\frac{Q_{j}(V_{high})-Q_{j}(V_{low})}{V_{high}-V_{low}}=K_{eq}C_{j0} Ceq=ΔV

本文围绕数字集成电路展开,先补充半导体物理知识,介绍二极管的耗尽区、静态和动态特性。重点对MOS器件进行定性理解,分析其静态和动态效应、二阶效应及工艺偏差影响,还探讨了FinFET前景与挑战,以及高低K电介质的应用,助于深入理解数字电路底层机理。
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