3D工业相机提升晶圆承载部件工艺质量

当前晶圆承载部件（包括晶圆托盘、卡盘、座、架等）在精密加工工序（CNC铣削、磨削、铸造）后面临众多检测瓶颈。

晶圆承载部件的几何精度是保障半导体制造过程稳定性的基础，其微米级偏差可直接导致产品良率下降。

目前依赖三坐标测量机（CMM）抽样检测、人工工具测量等方式，存在检测速度慢，无法获取表面三维形貌，存在漏检局部缺陷的风险。探针接触可能对高价值工件表面造成划伤或污染，数据的一致性低等挑战。

GL-8000系列凭借其高精度、高速度与非接触的技术特点，可在以下关键制造与质检环节实现革命性的检测能力提升：

1. CNC铣削/磨削工序后的3D检测：

加工后，部件承载面的微观起伏与宏观平面度同等重要。GL-8000通过发射一条高密度激光线投射至工件表面，单次即可获取一条包含4096个高度点（Z轴） 的轮廓线。通过其高达49kHz的扫描频率与运动平台配合，可在数秒内完成对整个平面的密集扫描，生成由高质量三维点云。
此过程中，其微米级精度确保能可靠地识别出微米级的局部凹陷或凸起。软件随后基于完整的海量点云数据，自动计算全域平面度、以及指定区域内的局部平整度，精准定位超差区域。

2. 多部件组装后的复合空间几何关系验证：

组装后的部件，利用GL-8000的高精度与高速扫描能力，可对组装体的各个功能性表面进行快速、独立的扫描与数据采集。其专用软件可直接在三维模型中，自动拟合出各个平面、圆柱孔的中心轴线等几何特征，并依据其0.3微米的数据一致性，精确计算并输出多个平面之间的平行度与共面度、多个圆柱孔之间的同轴度等复杂的复合几何公差，一次性完成对整个接口系统精度的综合验证。

GL-8000系列3D线激光轮廓测量仪，以其在微米级精度、每秒数万线的高速扫描、海量点云数据采集及复杂表面适应能力等方面的综合性能，为解决晶圆承载部件在平面度、平行度及综合尺寸精度方面的管控难题提供了有效的技术方案。