用于光学测量的菲索干涉仪

摘要

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
 

建模任务


 

倾斜平面下的观测条纹
 

圆柱面下的观测条纹


 

球面下的观测条纹

VirtualLab Fusion 视窗

VirtualLab Fusion 流程
 

设置入射场
 

- 基本光源模型[教程视频]

定义元件的位置和方向
 

- LPD II: 位置和方向[教程视频]

正确设置通道的非序列追迹
 

- 非序列追迹的通道设置[用户案例]

      

VirtualLab Fusion 技术
 

文件信息

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