刻蚀金属除了氯气还可以使用什么气体？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：刻蚀金属(例如Al  Au Cr等等)主要是使用氯气吗，我们组没有氯气。想请教您一下，除了氯气还可以使用什么气体代替吗。

刻蚀气体有哪些种类？

刻蚀气体主要分为两类，一类是氯基气体，一类是氟基气体。
其中氯基气体包括：HCl，SiCl4，CCl4，Cl2，BCl3等

氟基气体包括：SF6，CF4，CHF3，CH3F,CH2F2，C4F8，NF3等

一般，氯基气体有剧毒，氟基气体为低中毒性。均需要进行防护。
为什么一般用氯气刻蚀金属？

1，Cl2是非常活泼的气体，具有强氧化性，能够与大多数金属迅速反应

2，会与金属反应生成易挥发的金属氯化物，在刻蚀过程中可以迅速从表面去除。

刻蚀Al ，Au，Cr的其他配方？
Cr刻蚀用SF6+O2+Ar；
Au刻蚀可以用CF4+Ar

Al刻蚀用HBr/Bcl3+Ar或CCl4+Ar

以上仅为部分配方，实际生产过程中的配方很多。