冷却与密封技术是分子泵系统中不可或缺的关键技术,它们直接决定了分子泵的工作稳定性、寿命极限和应用范围。在现代高性能分子泵中,冷却系统负责维持关键部件在安全温度范围内工作,而密封技术则确保真空环境的完整性和纯度。
4.4.1 冷却方式与技术
分子泵在运行过程中会产生显著的热量,主要来源于转子风损、轴承摩擦和电机损耗。有效的冷却系统设计需要根据热负荷大小、工作环境要求和经济性因素进行综合考量。
风冷系统设计与优化
风冷是分子泵最基本的冷却方式,其设计基于强制对流换热原理。散热功率可表示为:
Φcool=hA(Ts−Ta)\Phi_{cool} = hA(T_s - T_a)Φ