51、高密度互连钻孔技术全解析

高密度互连钻孔技术全解析

1. 真空系统的重要性

在紧密网格中钻高深径比的孔时，充足的真空流量至关重要。真空系统主要有两个目的：
- 从钻孔表面提取碎屑。
- 通过清除碎屑来保持工具冷却，从而减少孔壁的摩擦。

如果真空流量不足，会导致孔壁质量问题，如凿痕、钉头和过度涂抹。行业真空强度的最低标准约为在压力脚处测量的20英寸水柱。对于一些应用，如高深径比钻孔，可能需要增加真空压力来充分清除碎屑，设备制造商可以针对特殊情况提供具体指导。增加压力脚插入件与钻孔堆叠顶部之间的z轴行程距离也有助于冷却钻头。

孔质量故障排除矩阵

问题	常见原因	参数解决方案	工艺解决方案	可能的设备问题
入口毛刺	进给速度过快	降低进给速度	更换入口材料类型和/或厚度	压力脚导套设置不正确；压力脚插入件损坏
出口毛刺	面板翘曲、进给速度/表面英尺每分钟（SFM）速度过快	增加压力脚压力值	纠正层压中的翘曲问题；清洁面板和垫板之间的区域	验证压力脚压力是否正确（45 psi）