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JAVA开发SECS快速入门资料,SECS S7F19
什么是半导体配方(recipe)?
配方是一组描述设备应如何处理其材料的指令。配方内容由设备供应商定义。
配方管理干什么的?
配方管理是对工厂对设备的配方进行管控,防止操作员随便修改。配方的存储和管控都在工厂端,当设备做好配方后,就会存储在工厂服务器。
为什么要管控?
几乎所有的半导体工厂都需要这个特性来确保配方的完整性并支持可追溯性。主机将设备上已批准的配方上传并保存下来供以后使用,以确保配方不会被更改。
配置在SECS/GEM是怎么处理?
① 获取配方

② 删除配方

③ 获取指定配方PPID资料明细
④ 上传配方到设备资料库,以在生产下达指令时使用对应的PPID

本文介绍了Java如何与SECS进行基础通信,涉及S2F17获取时间、S10F3终端显示、S7FX配方管理和S5F1报警控制等指令。此外,还讨论了半导体配方的概念、配方管理的重要性以及在SECS/GEM中的配方操作,如获取、删除和上传配方以支持生产过程的可追溯性。
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