100、基于多值逻辑的知识评估与半导体制造诊断方法

基于多值逻辑的知识评估与半导体制造诊断方法

1. 半导体制造机器诊断方法

在半导体制造机器的设计中，有一种基于Petri网的新颖诊断方法。该方法在不考虑传感器成本（相较于机器成本）的假设下进行，这在半导体制造领域是合理的。以下是该方法的详细步骤：
1. 选择与标签更改 ：在集合S′中选择Sf，并根据表3更改标签，新标签如表5所示。
2. 数值编码 ：新标签的数值编码也在表5中展示。
3. 计算与比较 ：计算X1⋅V和X3⋅V的值，X1⋅V = 1 100 + 1 101 + 1 102 + 1 103 = 1111，X3⋅V = 1 100 + 1 101 + 1 107 + 1 108 = 110000011。由于X1⋅V ≠ X3⋅V，进入下一步。
4. 集合更新 ：从集合S中移除Sf，并将其添加到集合P中，此时P = {Sp, Sf}，S = {St, Sc}，然后回到步骤4。
5. 再次检查 ：此时S′ = {St, Sc}，根据表5中的数值编码V，在添加Sp和Sf后，不存在两个最小T - 不变量Xi和Xj使得Xi⋅V = Xj⋅V，进入步骤6。
6. 诊断结果 ：返回结果，添加Sp和Sf后系统可诊断。最终，我们得到可观测事件计数及其对应的事件，可用于未来的在线故障诊断。

下面用mermaid流程图展示上述步骤：