光学码农的博客

泽尼克多项式是在单位圆盘上形成完全正交集的连续函数序列。它们是以荷兰物理学家Frits Zernike的名字命名的，Frits Zernike是1953年诺贝尔物理学奖的获得者，也是相衬显微镜的发明者。由于大多数光学系统都有圆孔，因此泽尼克多项式在波前分析中很有用，因此在光学中起着重要的作用。Zernike多项式一般可分为两种基本类型，即Zernike圆多项式和Zernike环形多项式，它们分别定义在单位圆盘和环形单位圆盘上。

Zygo干涉仪/轮廓仪的滤波功能可覆盖日常需求，Zygo MetroPro软件提供：均值、中值、2σ、FFT自动、FFT固定、高斯样条（Gauss Spline）、高斯样条自动、鲁棒高斯样条（Robust Gaussian Spline）和鲁棒高斯样条自动等滤波算法。本文主要介绍MetroPro软件“滤波控制器”中各项参数的意义、使用方法和各滤波器之间的区别。

1. PVr - 一个用于光学表面规格的稳健振幅参数Zygo：PV（峰谷差）值在光学设计和制造中是根深蒂固的。现代干涉仪通常使用1k×1k分辨率的传感器，仅用相机上的两个点（峰谷）来表达测量结果可能不是很到位。PVr是一个新提出的稳健振幅参数，它结合了36阶Zernike拟合的PV值和残差的均方根。PVr对结果提供了自动过滤，对系统分辨率不敏感，并与成像性能直接相关（通过Marechal判据）。建议使用PVr来代替PV。2. 什么是面形误差PVr？PVr的计算方法为：其中，是用36项Ze