半导体器件测试机专为以下器件
二 技术参数
1. 脉冲电流调节范围:0.01A~200A;
2. 脉冲电流档位:四档
3. 档位步进:0.01%档位满量程的
4. 脉冲宽度:300us
5. 开路输出电压:≥60V
6. 正向压降测量范围:0~20V(@200A),0~50V(@20A)
7. 栅极输出电压:±20V
8. 栅极漏电流测试范围:±10uA(带快速充电功能)
9. 电容测试范围:100pF~1uF(带相对测试功能)
10. 耐压电压:0~2500Vdc(选配)
11. 耐压电流:0~10mA(选配)
三 规格
1、电压测量(MV) | ||
量程 |
分辨率 |
精度 |
±30V |
0.001V |
±0.5%±0.05V |
0-20V |
1mV |
±0.5%±5mV |
0-60V(定制) |
1mV |
±0.5%±5mV |
2、漏电流测量(MI) | ||
量程 |
分辨率 |
精度 |
±10uA |
1nA |
±0.5%±5nA |
3、电容容量测量(MC) | ||
量程 |
分辨率 |
精度 |
1nF-10nF |
10pF |
±5%±100pF |
10nF-100nF |
100pF |
±5%±1nF |
100nF-1uF |
1nF |
±5%±10nF |
1uF-10uF |
10nF |
±5%±100nF |
4、加压(FV) | ||
量程 |
分辨率 |
精度 |
0-20V |
0.01V |
±1%±0.01V |
0-60V(定制) |
0.05V |
±1%±0.05V |
5、加流(FI) | ||
量程 |
分辨率 |
精度 |
0-100mA |
0.01mA |
±1%±0.01mA |
0.1-1A |
0.1mA |
±1%±0.1mA |
1-10A |
0.001A |
±1%±1mA |
10-200A |
0.01A |
±1%±10mA |
6、电流测量(MI) | ||
量程 |
分辨率 |
精度 |
0-100mA |
0.01mA |
±1%±0.01mA |
0.1-1A |
0.1mA |
±1%±0.1mA |
1-10A |
0.001A |
±1%±1mA |
10-200A |
0.01A |
±1%±10mA |