SEM测试线扫与面扫

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对sem测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

线扫

 

使电子束沿样品上指定的一条线扫描，就能得到这条线上感兴趣元素含量的变化曲线。线分析是一种定性分析，有二次电子或背散射电子像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布状态。它常用于材料表面改性（涂层、包覆层、渗C、渗N）、催化剂研究等。做线分析的试样表面，要求抛光，如果试样不平、缺陷、坑洞太多，就会对X-射线造成吸收，使线分布曲线产生大的变化，造成线分布假象，难于分清是元素含量变化或是几何因素引起。定义感兴趣元素的含量要求是“主要”或是“次要”的，如果是“微量”的，所得的线分布曲线变化就不明显，线扫描的可靠性差，这时就要采用点分析（如前面的定点分析示例3）。另外还要注意：分布曲线高度代表元素含量，同种元素在相同条件下可以定性比较含量变化。因为不同元素产生的X射线产额不同，所以不同元素的峰高不能进行元素含量的比较。即使元素含量没有变化，沿扫描线的元素分布通常也不是一条直线，这是由于X射线计数统计涨落和几何因素引起。

 

面扫

 

面扫描是使电子束在试样表面观察区扫描，所定义的感兴趣元素在显示器上以不同颜色的点分别显示出分布图像，并且与采集的二次电子图象相对应，直观明了，点越多、亮度越亮，说明元素含量越高。面分析的灵敏度比点、线分析都低，面扫描需要较长时间收集信号,才能得到比较好的效果，它也是一种定性分析。观察试样表面元素分布时，元素含量高的区域，显示的亮点多、亮度高，但背底噪音也会产生少量亮点，无法和低含量元素区分。因为面扫描灵敏度低，分析时往往采用大的探针电流，特别对轻元素，如果探针电流小，特征X射线信号很弱，无法显示元素分布。做面扫描的试样要求表面光滑。它常用于材料中异物杂质、相分布和元素偏析快速检验。

 

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