通过硅靶摄像管采集图像的电子显微镜

本文介绍了电子显微镜的工作原理,通过阴极钨丝发射的电子束形成样本图像,经磁力透镜放大后投射在硅靶摄像管上。摄像管利用硅单晶的PN节形成图像信号,最终传递给摄像机和电视机展示。文中还详细阐述了硅靶的制备过程,包括硅单晶的生长、掺杂和光刻技术的应用。

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通过硅靶摄像管采集图像的电子显微镜
电子显微镜是一种通过阴极钨丝发射电子,经过汇聚透镜把电子束聚集到检测物标本上,检测物样本放在火棉胶薄片上面,电子束被检测物样本薄片吸收,产生电势不同的图像,就像光线投射在物体上面产生阴影一样,这时电子束就形成了检测物样本的图像。再经过磁力透镜将电子束放大后,电子束照射在涂满PN节的摄像管上面,这个摄像管就会形成检测物的图像。并把这个图像传递给摄像机和电视机,最终显示出来。
电子显微镜的原理如下图
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