silvaco学习笔记—— Automatic Meshing

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于 2022-08-20 09:44:48 首次发布

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AutomaticMeshing技术对于处理复杂的外延结构，尤其是具有多层结构的器件，非常有效。通过指定Y网格线位置的REGION语句，可以实现精确的网格划分。例如，代码中定义了不同层的厚度、材料、掺杂浓度和X方向的补偿值，进而确定Y方向的网格分布。TOP与BOTTOM的值在每个REGION后会根据厚度变化，而NY和THICKNESS则决定了Y方向的网格数量和区域厚度。这些语句共同作用，创建出适应器件结构的网格模型。

Automatic Meshing(自动网格)特别适用于外延结构，特别是具有多层结构的器件结构。它是通过在REGION语句中指定Y网格线的位置来实现。如：

MESH AUTO
X.MESH LOCATION=-1.0 SPACING=0.1
X.MESH LOCATION=1.0 SPACING=0.1

上述代码并没有指定Y方向的网格，它是通过下列语句来实现Y方向的网格：

REGION TOP THICKNESS=0.02 MATERIAL=GaN NY=5 DONOR=1E16
REGION BOTTOM THICKNESS=0.1 MATERIAL=AlGaN NY=5 DONOR=1E17 X.COMP=0.2
REGION TOP THICKNESS=0.08 MATERIAL=AlGaN NY=4 ACCEPTOR=1E17 X.COMP=0.2
REGION BOTTOM THICKNESS=0.5 MATERIAL=AlGaN NY=10 DONOR=1E18 X.COMP=0.2

注意：

1.TOP与BOTTOM的使用。 TOP 与BOTTOM在没有定义之前都等于0，当在region中使用后，其值将发生变化，TOP=TOP-THICKNESS(因为Y轴的方向向下，故TOP要取负值)，如在第一个region之后，TOP=0-0.02=-0.02; 在第二个region之后 BOTTOM=0+0.1=0.1;后面的以此类推。

2. NY与thickness。NY指的是该语句中Y方向的网格数目，THICKNESS指的是该区域的厚度。它们与SY的关系为SY = THICKNESS/NY。

上面四句语句的效果用图形来表示它们的效果如下：