谐振式压力传感器

最新推荐文章于 2024-09-07 11:28:18 发布

qq_51618334

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14.谐振式压力传感器由一个振动的圆形硅板组成，硅板的固有频率 $f_n \; Hz$ 由下式给出:
$P=10^{4}-30f_n+0.12f^2_n$
P是输入压强，单位是Pa，板的劲度系数为 $10^7\; N/m$ 并且其阻尼比为0.01，电容式位移传感器的灵敏度为 $2\times 10^2 \; V/m$ ，驱动元件的灵敏度为

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