8、电化学加工参数优化与铝材料光化学蚀刻深度研究

电化学加工参数优化与铝材料光化学蚀刻深度研究

1. 线电化学加工多参数优化

1.1 多响应优化

在使用线电化学放电加工（WECDM）时，加工的输出响应通过效用方法进行统一，将材料去除率（MRR）和切口宽度（WOC）纳入效用响应函数，转化为效用数据，相关数据如下表所示。
| Level | Voltage (V) | Electrolyte conc (%wt/v) | Wire speed (%) | Interelectrode gap (cm) |
| — | — | — | — | — |
| 1 | 5.606 | 5.981 | 5.752 | 5.396 |
| 2 | 6.310 | 5.480 | 5.680 | 5.848 |
| 3 | 5.251 | 5.706 | 5.734 | 5.924 |
| Delta | 1.059 | 0.501 | 0.072 | 0.528 |
| Rank | 1 | 3 | 4 | 2 |

1.1.1 偏好尺度

• 材料去除率（PMRR） ：预测的MRR输出值$X^*$为0.2420 mg/min，MRR的最小允许值$X’ i$为0.0036 mg/min，通过以下公式计算偏好尺度：
  [PMRR = 4.92 \times \log \left(\frac{X {MRR}}{0.0036}\right)]
• 切口宽度（PWOC） ：预测的WOC输出值$X^*$为0.1537 mm，WO