什么是in-die variation
导语:XCAL_EXCL_INDIE是PEX RC RULE中存在的option,是影响in-die variation计算的option。
那么在什么时候要打开这个option,以及这个option起到什么作用。在manual中收集到了以下资料。
起因
在使用calibre perc抽出p2p电阻时,得出的电阻比较偏小。所以开始调查电阻小的原因。
通过画出指定宽度的金属,然后指定点抽出100um的电阻值。
然后以公式R=Rsq*(L/W)来计算出方块电阻Rsq。得到如下结果:
上层金属基本上方块电阻是一致的,但是下层电阻的方块电阻差异很大达到一倍之多。
然后就开始调查产生这么大误差的原因。最终查找到是要修改PEX RULE中的option:XCAL_EXCL_INDIE,打开此option来关掉 in-die variation的计算。
打开该option之后的方块电阻:
这样的结果就和pdf里记载的差不多一致了。