5、通孔制造中的抗蚀剂涂覆技术研究

通孔制造中的抗蚀剂涂覆技术研究

1. 旋转雾化喷涂法进行通孔抗蚀剂涂覆

1.1 传统喷涂方法的问题

常见的喷涂方法有双流体法和单流体法：
- 双流体法 ：通过在喷嘴内将液体流和气流结合产生液体颗粒，颗粒随空气流动，颗粒大小取决于出口压力和流速。但在通孔涂覆时，气流会阻止液体颗粒进入孔内。
- 单流体法 ：利用喷嘴的高压出口射流进行雾化，产生的颗粒流速很高，必然伴随着强气流，同样存在液体颗粒难以进入通孔的问题。

1.2 旋转雾化喷涂法原理

旋转雾化喷涂法通过高速旋转的杯状结构部件，利用离心力将供应的液体抗蚀剂雾化。抗蚀剂颗粒大小取决于杯的旋转频率，旋转频率越大，颗粒越小。产生的颗粒流速可通过整形气流独立控制，这是相较于双流体或单流体法的一大优势，因为颗粒无需高速就能达到小尺寸，可随缓慢的整形气流轻松进入通孔。

1.3 实验设置

• 设备 ：使用旋转雾化喷涂机，喷嘴可在工件上扫描。
• 工件 ：TSV - TEG（测试元件组）晶圆，硅基板上有许多通孔，通孔直径为 20 - 80 µm。
• 控制条件 ：可通过热板控制晶圆温度，以控制干燥和平整条件。

1.4 旋转雾化喷涂实验结果

实验条件	结果