Central Processing Unit及集成电路

本文介绍了光刻机在芯片制造中的核心作用及其制造工艺流程,包括硅片表面处理、光刻胶涂布及图形转移等步骤。同时,列举了全球主要光刻机及芯片制造商,并指出中国芯片产业发展受限于光刻机技术。

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厂商

国内

  • 海思半导体
  • 瑞芯微电子
  • 格科微电子
  • 小米

国外

  • 高通
  • 仙童

光刻机

光刻机,一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。是集成电路、半导体元器件的核心关键设备。
中国芯片产业长期发展缓慢就是缺乏光刻机。而光刻机又是《瓦森纳协定》中对华出口限制技术和设备。

主流商用

  • 荷兰ASML(龙头大哥),又名阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。全球占绝对垄断地位80%
  • 日本尼康。Intel曾经使用过其光刻机。
  • 日本佳能

有能力生成

  • 中国smic(中芯国际)
  • 美国micron(镁光)
  • 韩国Samsung
  • 日本Toshiba
  • 台湾inotera(华亚)
  • Intel
  • 日本Sony
  • 韩国Hynix
  • 台湾UMC(联华)
  • 台湾TSMC(太积电,台湾积体电路制造股份)
  • 德国infineon
  • 美国globalfoundries(AMD拆分而来,格罗方德半导体股份)
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