ROBOTOUS电容式六维力传感器

ROBOTOUS六维力传感器-电容式六维力传感器

电容式六维力传感器的核心部分是对压力敏感的电容器。力敏电容器的电容量是由电极面积和两个电极间的距离决定，当硅膜片两边存在压力差时，硅膜片产生形变，极板间的间距发生变化，从而引起电容量的变化，电容变化量与压差有关。它与压阻式力敏传感器相比，具有灵敏度高、温度稳定性好、压力量程大。采用的非接触式电容测量，可以对力传感器的微应变进行精准感知，提高了传感器的精度和响应速度，解决了现有六维力传感器灵敏系数较低的问题。